日本进口filgen等离子镀膜机EVO涂层多功能 OPC60A 特点介绍

这是一种以SEM样品为主的导电性薄膜的制造装置，采用“利用直流辉光放电的负辉光相区域的等离子膜制造方法”。

用锇离子镀膜

机电镜观察 　解决您的难题！

它对于防止充电、减少颗粒感和热损伤非常有效

锇等离子镀膜机是一种主要用于SEM样品的导电薄膜生产装置，采用“使用直流辉光放电的负辉光相区域的等离子成膜方法”。

导电锇薄膜可以使用获得的直流等离子体CVD方法形成（在负辉光相区域内成膜）。

自动操作允许任何人安全地沉积锇薄膜并具有良好的再现性。

日本进口filgen等离子镀膜机EVO涂层多功能 OPC60A 规格参数

该产品阵容包括锇薄膜专用型号和配备使用萘的等离子聚合膜机构的两用型号。

可选配超薄膜形成机构、亲水处理机构、深样品机构，支持各种应用。

此外，除了传统的开关型外，锇薄膜型号的产品阵容中还新增了触摸屏型。

对于要用扫描电子显微镜（SEM）成像的样品，必须在样品表面形成导电薄膜，以防止其因电子束照射而带电。

传统上，导电薄膜是使用溅射或金蒸发方法形成的。然而，人们担心样品表面的颗粒度以及样品热损伤造成的损坏。

因此，Philgen 开发了锇等离子体镀膜机，这是一种可以利用直流等离子体 CVD（负辉光相区域成膜）方法形成导电锇薄膜的设备。

当少量（OsO4）气体/萘气体（C10H18）通入真空室并引起辉光放电时，瞬间变成等离子态，分为正辉光相区和负辉光相区。

此时，电离的分子立即附着并沉积在置于阴极板负辉相区域的样品表面上，形成非晶态锇薄膜/等离子体聚合膜（萘）。

锇薄膜是非晶态的，因此不会对样品造成热损伤，并且当用SEM对涂层样品进行拍照时，可以获得极其清晰的图像，没有颗粒感。