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OPC60A/OPC80T 日本Filgen等离子镀膜机用于导电性薄膜装置
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日本Filgen等离子镀膜机用于导电性薄膜装置 OPC60A/OPC80T 特点介绍
电子显微镜试样用导电性薄膜制作装置等离子体涂布机
◆膜专用型(OPC60A)
◆膜/等离子体聚合膜双用型(OPC80T)
◆导电性超薄膜制膜机构
◆亲水化处理机构
◆深型试样机构
◆可选消耗品
日本Filgen等离子镀膜机用于导电性薄膜装置 OPC60A/OPC80T 规格参数
奥斯米解决等离子涂层原理和特强电子显微镜观察的烦恼!防止充电、粒状性、对减轻热损伤发挥了极大的效果。
奥斯米等离子体涂层是什么?等离子体涂布机是使用“通过直流辉光放电在负辉光相区域内的等离子体制膜法”,主要用于SEM试样的导电性薄膜制作装置。
通过等离子体CVD法,可以在短时间内形成非晶质的钕导电性薄膜(钕涂层)。
可获得具有非常坚固和光滑表面的导电薄膜,而不会对试样造成热损伤。
另外,除了标准规格的钕薄膜机构之外,还配备了使用了环烷的等离子体聚合膜机构、导电性超薄膜制膜机构、
亲水化处理机构、深型试样机构等扩展性优异的产品线,SEM、可对应TEM试样等各种预处理。
薄膜机构(标准规格)
●SEM试样的导电性薄膜
●防止SEM、TEM试样的污染
●AFM样品的保护膜
●SPM样品的导电性保护膜
●SPM用悬臂的保护膜亲水化处理机构(可选)
●在氟树脂表面等上涂覆前处理
●防止包埋树脂与试样剥离●提高湿性
●TEM支持膜表面的亲水化
●TEM用栅格的亲水化
●超微刀用金刚石刀刃尖亲水化等离子体聚合膜制膜机构
●FIB试样用保护膜●防止包埋树脂与试样剥离
●氟树脂的涂层(邻苯二甲烷-混合涂层)
●TEM栅格用支撑膜
●TEM用超薄切片防漂移导电性超薄膜制膜机构(可选)
●利用FESEM观察绝缘物的超微细结构
●利用ESCA、AES对绝缘物极表面信息进行定量分析
●TEM试样的导电性增强
●AFM试样的静电防护
●STM试样的防静电
●蚀刻(仅限混合气体方式)深型试样机构(可选)
●适用于更高试样的涂层