Nikon NSR 2005i8A

1、Nikon NSR 2005i8A步进式光刻机

光源波长365nm

分辨率优于0.5µm

主要用于2寸、4寸、6寸、8寸生产线

广泛应用于化合物半导体、MEMS、LED等领域

2、产品详情

主要技术指标

分辨率0.5µm

N.A.0.6

曝光光源365nm

倍率5:1

最大曝光现场20mm*20mm

对准精度LSA：120nm

FIA：130nm

3、更多服务

提供中英文软件及2"、4"、6"设备硅片改造

常年提供所有备件、耗材

更多型号设备，欢迎致电或继续浏览我们的网站！

深圳市矢量科学仪器有限公司成立于 2020年，由武汉大学团队孵化，致力泛半导体实验线、中试线、生产线装备及工艺和厂务技术服务于一体的国家高新技术企业、创新型中小企业、科技型中小企业。

公司主要业务如下:

装备销售:半导体前道制程工艺装备、后道封装装备、半导体分析测试装备、半导体光电测试仪表。

设备服务:驻场或者 oncall，装备维护、保养、售后技术支持。

厂务服务:驻场或者 oncall，人力服务及厂务二次配工程。

经历五年高速发展，2023 年营业额达 3.2 亿，连年复合增长率达 300%，现处于稳定扩张期。