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4寸PEEK制程用晶舟

型号

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氟塑料产品,PEEK卡塞

公司专注于高性能材料应用的创新解决方案。聚焦超高纯PFA、PTFE、PEEK等高性能材料的产品研发、生产和销售,产品广泛应用于半导体前道制程、半导体湿法设备、电子化学品制备等领域。

详细信息

产品规格:

4寸PEEK制程用晶舟

PEEK Cassette系列介绍:

适用于制程间晶圆的传送。产品尺寸符合适配业内主流规范,也可依照客户要求进行定制化设计。

产品材料满足:

避免晶圆受到静电伤害

超低气体释放

超低杂质含量

耐磨且保护晶圆

耐高温制程

产品主要指标

晶圆承载量:25

D1距:14.53mm(0.57")

槽距:4.76mm(0.19")

槽最窄距:1.52mm(0.06")

主营产品:

1、超纯PFA管阀部件,可适用于化学品供应系统、混合分配系统、制程设备、化学品处理回收:管道、接头、阀门、流量计、过滤器等。

2、超纯PFA填料,在电子级氢氟酸、过氧化氢、硫酸、硝酸、盐酸、氢氧化钾、显影液、刻蚀液等高纯电子化学品产线建立起关键作用。

3、PEEK晶圆载具,4寸、4.125寸、6寸、8寸等PEEK晶舟以及专用光罩盒、通用光罩盒。



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