6.25寸12槽PEEK Cassette晶圆载具产品规格：

6.25寸12槽PEEK Cassette晶圆载具系列介绍：

适用于制程间晶圆的传送。产品尺寸符合适配业内主流规范，也可依照客户要求进行定制化设计。

产品材料满足：

避免晶圆受到静电伤害

超低气体释放

超低杂质含量

耐磨且保护晶圆

耐高温制程

DWI主营产品

[主要产品系列]

l 化学液用隔膜阀：气控阀、手动阀、回吸阀、减压阀、流量调节阀等。

应用领域： 光学，医药，光伏，电子和微电子，半导体生产，制药工业，生物技术和基因技术。

l 高纯PFA流体元件：扩口接头、入珠接头、焊接接头、卡套等

应用领域：可适用于化学品供应系统、混合分配系统、制程设备、化学品处理回收：管道、接头、阀门、流量计、过滤器等。

l 高纯PFA管材：PFA管材、防静电PFA管

应用领域：适用于高纯度化学品使用，半导体工业、化学与制药工业、食品工业、医药仪器、热交换器、液位计。

l 高纯PFA填料：规整填料、散堆填料

应用领域：在电子级氢氟酸、过氧化氢、硫酸、硝酸、盐酸、氢氧化钾、显影液、刻蚀液等高纯电子化学品产线建立起关键作用。

l 高纯PFA取样瓶：高纯PFA广口瓶、高纯PFA细口瓶

应用领域：是适用于实验室应用塑料瓶，非常适合痕量金属分析和涉及有机溶剂的应用。

l 设备耗材：去离子水喷枪

应用领域：适用于高纯半导体应用等

l 载具：PEEK Cassette、PFA Cassette、光罩盒、晶舟传送盒（Smif Pod）等

应用领域：半导体制造等