1、公司介绍

深圳市矢量科学仪器有限公司成立于 2020年，由武汉大学团队孵化，致力泛半导体实验线、中试线、生产线装备及工艺和厂务技术服务于一体的国家高新技术企业、创新型中小企业、科技型中小企业。

公司主要业务如下:

装备销售:半导体前道制程工艺装备、后道封装装备、半导体分析测试装备、半导体光电测试仪表。

设备服务:驻场或者 oncall，装备维护、保养、售后技术支持。

厂务服务:驻场或者 oncall，人力服务及厂务二次配工程。

经历五年高速发展，2023 年营业额达 3.2 亿，连年复合增长率达 300%，现处于稳定扩张期。

2、成长历程

•2020年（公司成立年）

•2300万订单额

2021年 7000万订单额

2022年 2.5亿订单额

2023年3.2亿订单额

iTops PVD ITO 溅射系统

1、加热能力、精确的温度控制、优异的真空能力

High operating temperture, accurate temperature control, excellent vacuum capability

2、高晶体质量的氮化铝薄膜及优异的薄膜厚度均匀性

High crystalline AlN film with excellent thickness uniformity

3、占地面积小，结构简单，操作灵活，维修方便

Better footprint, simple structure, flexible operation and easy maintain

4、设备稳定，稼动率高，运营成本低

Reliable performance, higher uptime and lower CoO/CoC

技术参数

1、晶圆尺寸  2/4/6 英寸兼容

2、适用材料  氮化铝

3、适用工艺  氮化铝缓冲层溅射

4、适用领域  化合物半导体