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SATELLA, ZELDA系列 有机EL成膜设备SOLCIET
- 型号
- SATELLA, ZELDA系列
冷热台，快速退火炉，光刻机，纳米压印、磁控溅射，电子束蒸发
深圳市矢量科学仪器有限公司是集半导体仪器装备代理及技术服务的高新技术企业。
致力于提供半导体前道制程工艺装备、后道封装装备、半导体分析测试设备、半导体光电测试仪表及相关仪器装备维护、保养、售后技术支持及实验室整体服务。
公司目前已授实用新型权利 29 项，软件著作权 14 项，是创新型中小企业、科技型中小企业、规模以上工业企业。
详细信息
有机EL成膜设备SOLCIET, SATELLA, ZELDA系列
ULVAC面向有机EL材料开发提供实验用设备系统到量产Cluster系统设备和Inline系统设备。
1、公司介绍
深圳市矢量科学仪器有限公司成立于 2020年，由武汉大学团队孵化，致力泛半导体实验线、中试线、生产线装备及工艺和厂务技术服务于一体的国家高新技术企业、创新型中小企业、科技型中小企业。
公司主要业务如下:
装备销售:半导体道制程工艺装备、后道封装装备、半导体分析测试装备、半导体光电测试仪表。
设备服务:驻场或者 oncall，装备维护、保养、售后技术支持。
厂务服务:驻场或者 oncall，人力服务及厂务二次配工程。
经历五年高速发展，2023 年营业额达 3.2 亿，连年复合增长率达 300%，现处于稳定扩张期。
2、成长历程
•2020年（公司成立年）
•2300万订单额
2021年 7000万订单额
2022年 2.5亿订单额
2023年3.2亿订单额
产品特性 / Product characteristics
•SOLCIET有室、有机镀膜室、电镀膜室、中间室和glove box独立的腔室构成、可以进行从材料评价到产品特性评价的实验系统。
我们还提供丰富的选项，如溅射阴和各种蒸发源，以扩大实验用途的范围。对应的基板尺寸标准是100mm。
•SATELLA采用独立的工艺室制造多腔室样式，可以进行SOLCIET难以进行的全色产品评估。 它有一个8角形传输室，可根据实际需求
容纳2到4个有机沉积室。 此外，它配备了高精度的掩模对准机制，并支持有源矩阵全彩设备（active matrix full-color device）。
对应的电路板尺寸的标准是200 mm。
•ZELDA系列是批量生产兼容系统。 我们有丰富的应用，包括新开发的蒸发源。 可以对应的电路板尺寸是G2或更大。
产品应用 / Product application
•有机EL Display、有机EL照明
产品参数 / Product parameters
