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EW系列 卷绕式真空蒸镀设备
- 型号
- EW系列
冷热台，快速退火炉，光刻机，纳米压印、磁控溅射，电子束蒸发
深圳市矢量科学仪器有限公司是集半导体仪器装备代理及技术服务的高新技术企业。
致力于提供半导体前道制程工艺装备、后道封装装备、半导体分析测试设备、半导体光电测试仪表及相关仪器装备维护、保养、售后技术支持及实验室整体服务。
公司目前已授实用新型权利 29 项，软件著作权 14 项，是创新型中小企业、科技型中小企业、规模以上工业企业。
详细信息
卷绕式真空蒸镀设备 EW系列
塑料薄膜、纸、金属箔等连续卷绕的同时，对金属和氧化物进行蒸镀的成膜设备。从小型的实验机到大量的生产设备，此外，还提供一系列用于包装材料，电容器，磁带等其他应用的型号。
产品特性 / Product characteristics
•基板传送采用全新的卷绕控制技术，可根据不同的材料和尺寸实现稳定运行。
•根据蒸镀的目的，可以选择匹配的蒸发源（感应加热方法，电阻加热方法，EB加热方法）。
•各种预处理/后处理的机制达到良好的工艺条件。
•可提供能够在线测量的穿透式膜厚监视仪，涡流式膜厚监视仪，电阻值监视仪等。
产品应用 / Product application
•包装材料，透明气体屏障，金银线
•电容器
•磁带
•光学膜
产品参数 / Product parameters
1、公司介绍
深圳市矢量科学仪器有限公司成立于 2020年，由武汉大学团队孵化，致力泛半导体实验线、中试线、生产线装备及工艺和厂务技术服务于一体的国家高新技术企业、创新型中小企业、科技型中小企业。
公司主要业务如下:
装备销售:半导体道制程工艺装备、后道封装装备、半导体分析测试装备、半导体光电测试仪表。
设备服务:驻场或者 oncall，装备维护、保养、售后技术支持。
厂务服务:驻场或者 oncall，人力服务及厂务二次配工程。
经历五年高速发展，2023 年营业额达 3.2 亿，连年复合增长率达 300%，现处于稳定扩张期。
2、成长历程
•2020年（公司成立年）
•2300万订单额
2021年 7000万订单额
2022年 2.5亿订单额
2023年3.2亿订单额
