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ALT·S系列 自动氦检漏设备
- 型号
- ALT·S系列
冷热台，快速退火炉，光刻机，纳米压印、磁控溅射，电子束蒸发
深圳市矢量科学仪器有限公司是集半导体仪器装备代理及技术服务的高新技术企业。
致力于提供半导体前道制程工艺装备、后道封装装备、半导体分析测试设备、半导体光电测试仪表及相关仪器装备维护、保养、售后技术支持及实验室整体服务。
公司目前已授实用新型权利 29 项，软件著作权 14 项，是创新型中小企业、科技型中小企业、规模以上工业企业。
详细信息
关于公司
1、公司介绍
深圳市矢量科学仪器有限公司成立于 2020年，由武汉大学团队孵化，致力泛半导体实验线、中试线、生产线装备及工艺和厂务技术服务于一体的国家高新技术企业、创新型中小企业、科技型中小企业。
公司主要业务如下:
装备销售:半导体道制程工艺装备、后道封装装备、半导体分析测试装备、半导体光电测试仪表。
设备服务:驻场或者 oncall，装备维护、保养、售后技术支持。
厂务服务:驻场或者 oncall，人力服务及厂务二次配工程。
经历五年高速发展，2023 年营业额达 3.2 亿，连年复合增长率达 300%，现处于稳定扩张期。
2、成长历程
•2020年（公司成立年）
•2300万订单额
2021年 7000万订单额
2022年 2.5亿订单额
2023年3.2亿订单额
自动氦检漏设备ALT·S系列（SUPER ALT）
使用He作为检知气体的设备。应用ULVAC技术，运用全新机构，使得省空间、高速、全自动处理成为可能。
产品特性 / Product characteristics
•测试台上采用了旋转机构，使得工件装卸作业时间减半。
•由于He气体封入工艺和检漏工艺分别在不同的地方进行，可以大幅缩短处理时间。
•搭载He检漏仪【HELIOT-ZERO】，可确认真空排气中从检查品漏出的He气体。
※【真空排气中的高速气体分析机构】：利申请中。
•因为可高速处理，可减少测试腔体数，节省空间。
•可减少一个腔体，作业位置无需移动，提高作业效率。
•设备模块化，现地安装时间可以缩短。
•由于 泵可从设备本体中单独取出的构造，方便进行修理。
产品应用 / Product application
•汽车域：压缩机、车用空调、油冷却机、EGR冷却机
•空调冷冻机域：压缩机、热交换器、膨胀阀
•机械（精密）域：各种阀、压力计、航空计测器、压力调整开关
产品参数 / Product parameters
