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铌酸锂/钽酸锂抛光后清洗机

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苏州瑞红昕芯科技有限公司

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半导体湿法腐蚀清洗设备,wet bench,晶圆清洗机,RCA清洗机,重腐蚀机,刻蚀机,wet ETCHing,供液装置,桶清洗设备,灌装,铌酸锂/钽酸锂清洗机,氧化钾清洗机,lift-off,去胶,去蜡,刷洗机,基板清洗机,掩膜版清洗机,mask

苏州瑞红昕芯科技有限公司是国内湿制程工艺设备制造商之一;公司经过多年行业沉淀,积累了一批经验丰富的研发、设计、生产、销售及售后团队;目前不仅可以根据客户工艺适配设备;还能与客户共同工艺验证,开发符合客户工艺需求设备;更能通过客户需求工艺设备开发及打样验证;技术方面更与日本SANTECH取得技术合作;产品涉及槽式、片式、洗刷式等一些列产品;

公司一直秉持开放 合作 共赢的经营理念;服务好每一位新老客户

企业文化:

人才:引进与培养人才是公司人力资源模块的重要部分,截止目前为止公司已经完成人员高素质、高技术的转变。

企业精神:高效 务实 创新 超越

经营理念: 以人为本 诚信立业 规范操        作 求远务实

市场战略:东西南北齐飞、国际国内共同发展

企业愿景:成为国内外”头部”湿制程技术设备服务商

Team:

简单:人与人之间交流的简单,追求设计产品的简单。

正直:信守承诺,做正直的事,做正直的人。

创新:创新是进步的灵魂,勇与尝试,大胆想象。

超越:从优秀更上一层楼,不断超越,锐意进取。

成长:广阔的成长空间,让成长进步贯穿RHXX每一天。

我们是一支专业的团队。我们的成员拥有多年的专业技术背景,来自国内外公司的一线骨干。我们是一支年轻的团队。充满了朝气和创新精神。

我们是一支专注的团队。我们坚信,安全的品牌源自客户的信任。只有专注,才能做好。

我们是一支有梦想的团队。我们来自不同的地方,因为一个共同的梦想:



详细信息

铌酸锂/钽酸锂抛光后清洗机


产品尺寸:4/6/8/12英寸圆片

处理能力:25片/50片   每槽

清洗技术:超声、加热、抛动、喷淋、溢流、鼓泡、快排

是否包含local cds:是

是否自动机台:是


铌酸锂/钽酸锂抛光后清洗机详细介绍

1、台面布局


铌酸锂/钽酸锂抛光后清洗机

2、功能介绍

上料:50片/批次;自动抓取;手动透明安全门;

1#(加热超声槽):抛动、循环;超声;不锈钢加热器60±5℃;时间可设定;重力直排;

2#(加热超声槽):抛动、循环过滤;超声;不锈钢加热器60±5℃;时间可设定;重力直排;

4#(加热超声槽):抛动、循环过滤;超声;不锈钢加热器60±5℃;时间可设定;重力直排;

3#、5#(热水溢流槽):预热箱预热供给50℃热水;慢溢流,溢流时间可设;

6#(QDR槽):厂务供水;常温;喷淋;溢流;氮气鼓泡;快排;工艺时间可设定;

下料:湿出;50片/批次;手动取出;自动透明安全门;(下料时若无人员按钮确认产品一直在6号槽慢溢流保护)

3、动力条件

买方提供设备的用电、气、水等公用厂务的接口以实际设计为准

序号

种类

规格

材质

方式

1

电源

380V  三相五线  50Hz 35KW



2

去离子水

0.2~0.3MPa,4 m3/h(间断用),

进水管:DN25(外径32mm)。

CPVC或PFA

活接

3

高压空气

0.6MPa,一般为6m3/h,

进气口径 ≥φ10mm。

PP或TPU软管

内螺纹

4

氮气

0.4~0.6MPa,一般为3 m3/h,进气口径 ≥φ10mm。

PP或TPU软管

内螺纹

5

6000 m3/h,2*DN200。

SUS304材质

法兰

6

废水排放

4.3 m3/h,英制D2”*2 或DN40(外径50mm)

PP

活接


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