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晶片腐蚀机

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苏州瑞红昕芯科技有限公司

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苏州瑞红昕芯科技有限公司是国内湿制程工艺设备制造商之一;公司经过多年行业沉淀,积累了一批经验丰富的研发、设计、生产、销售及售后团队;目前不仅可以根据客户工艺适配设备;还能与客户共同工艺验证,开发符合客户工艺需求设备;更能通过客户需求工艺设备开发及打样验证;技术方面更与日本SANTECH取得技术合作;产品涉及槽式、片式、洗刷式等一些列产品;

公司一直秉持开放 合作 共赢的经营理念;服务好每一位新老客户

企业文化:

人才:引进与培养人才是公司人力资源模块的重要部分,截止目前为止公司已经完成人员高素质、高技术的转变。

企业精神:高效 务实 创新 超越

经营理念: 以人为本 诚信立业 规范操        作 求远务实

市场战略:东西南北齐飞、国际国内共同发展

企业愿景:成为国内外”头部”湿制程技术设备服务商

Team:

简单:人与人之间交流的简单,追求设计产品的简单。

正直:信守承诺,做正直的事,做正直的人。

创新:创新是进步的灵魂,勇与尝试,大胆想象。

超越:从优秀更上一层楼,不断超越,锐意进取。

成长:广阔的成长空间,让成长进步贯穿RHXX每一天。

我们是一支专业的团队。我们的成员拥有多年的专业技术背景,来自国内外公司的一线骨干。我们是一支年轻的团队。充满了朝气和创新精神。

我们是一支专注的团队。我们坚信,安全的品牌源自客户的信任。只有专注,才能做好。

我们是一支有梦想的团队。我们来自不同的地方,因为一个共同的梦想:



详细信息

² 设备名称:晶片腐蚀

² 设备型号:RHXX-待定

² 制作材质:PP

² 处理能力:每槽26寸或18

² 整机尺寸:约2000mm(L) ×1300mm(W) ×2400mm(H)


晶片腐蚀机主体构造特点

由于是一个酸的环境,我们设备的排风方式,台面下抽风为主,背部、顶部排风的综合排废气系统,槽下有单独的抽风装置,同时工艺槽采用自动液装置。

设备结构外型,整机主要由机架、工艺槽体、机械手系统、排风系统、电控系统、水路系统及气路系统等组成。

由于工艺槽内药液腐蚀性强,设备需要做防腐处理:(1)设备机架采用钢结构骨架包塑;(2)壳体采用瓷白色PP板材焊接成型,制程区由耐酸碱PP板材组合焊接而成:(3)电气区设置在设备后上部,与湿区和管路区隔离;(4)槽体材料选用耐相应溶液腐蚀的材料;(5)机械手探人湿区部分的零部件表面喷氟或套PFA管处理或为铁氟龙加工件

设备的排风系统由引风窗和排风口组成,排风口位于设备后顶都。排风板为可拆卸可调结构,以便清除可能产生的结晶。排风口处设有自动调节风门,即上电打开风门,断电关闭风门。具有风压检测功能,以及氮气、压缩空气压力报警功能。设备前、后下方均设有维护门。台面为多孔结构,便于台面上冲洗水、液的排出。机械手抓取部位位于液面以上,以防止传递过程中的交叉污染。所有和晶片直接接触的化学介质中不允许有金属出现。

设备台面排列布置如(台面布置图)所示,共3腐蚀工作位,3个水洗工位;所有槽工作在洁净、全封闭的结构中工作参数通过触摸屏设置。每个工位均设置单独控制按钮(开始,停止,急停),可分别控制4个工艺位;将来清洗片盒手工放在机械手上,操作人员按“开始/start按钮”后,进行工艺动作;清洗完成后系统发出报警提出信号,待人工手动取出。设备台面的左、右前方分别配置PP材料的水(2把,2把水枪),便于工件及设备的清理;设备整机放置于一个PP承露盘中,防止药液漏液至高架地板,承露盘中设置漏液传感器,漏液报警


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