起订量:
晶片腐蚀机
免费会员
生产厂家苏州瑞红昕芯科技有限公司是国内湿制程工艺设备制造商之一;公司经过多年行业沉淀,积累了一批经验丰富的研发、设计、生产、销售及售后团队;目前不仅可以根据客户工艺适配设备;还能与客户共同工艺验证,开发符合客户工艺需求设备;更能通过客户需求工艺设备开发及打样验证;技术方面更与日本SANTECH取得技术合作;产品涉及槽式、片式、洗刷式等一些列产品;
公司一直秉持开放 合作 共赢的经营理念;服务好每一位新老客户
企业文化:
人才:引进与培养人才是公司人力资源模块的重要部分,截止目前为止公司已经完成人员高素质、高技术的转变。
企业精神:高效 务实 创新 超越
经营理念: 以人为本 诚信立业 规范操 作 求远务实
市场战略:东西南北齐飞、国际国内共同发展
企业愿景:成为国内外”头部”湿制程技术设备服务商
Team:
简单:人与人之间交流的简单,追求设计产品的简单。
正直:信守承诺,做正直的事,做正直的人。
创新:创新是进步的灵魂,勇与尝试,大胆想象。
超越:从优秀更上一层楼,不断超越,锐意进取。
成长:广阔的成长空间,让成长进步贯穿RHXX每一天。
我们是一支专业的团队。我们的成员拥有多年的专业技术背景,来自国内外公司的一线骨干。我们是一支年轻的团队。充满了朝气和创新精神。
我们是一支专注的团队。我们坚信,安全的品牌源自客户的信任。只有专注,才能做好。
我们是一支有梦想的团队。我们来自不同的地方,因为一个共同的梦想:
² 设备名称:晶片腐蚀机
² 设备型号:RHXX-待定
² 制作材质:PP
² 处理能力:每槽2篮6寸或1篮8寸
² 整机尺寸:约2000mm(L) ×1300mm(W) ×2400mm(H)
晶片腐蚀机主体构造特点
由于是一个酸性的环境,我们设备的排风方式,台面下抽风为主,背部、顶部排风的综合排废气系统,槽下有单独的抽风装置,同时工艺槽采用自动供液装置。
设备结构外型,整机主要由机架、工艺槽体、机械手系统、排风系统、电控系统、水路系统及气路系统等组成。
由于工艺槽内药液腐蚀性强,设备需要做防腐处理:(1)设备机架采用钢结构骨架包塑;(2)壳体采用瓷白色PP板材焊接成型,制程区由耐酸碱PP板材组合焊接而成:(3)电气区设置在设备后上部,与湿区和管路区隔离;(4)槽体材料选用耐相应溶液腐蚀的材料;(5)机械手探人湿区部分的零部件表面喷氟或套PFA管处理或为铁氟龙加工件。
设备的排风系统由引风窗和排风口组成,排风口位于设备后顶都。排风板为可拆卸可调结构,以便清除可能产生的结晶。排风口处设有自动调节风门,即上电打开风门,断电关闭风门。具有风压检测功能,以及氮气、压缩空气压力报警功能。设备前、后下方均设有维护门。台面为多孔结构,便于台面上冲洗水、液的排出。机械手抓取部位位于液面以上,以防止传递过程中的交叉污染。所有和晶片直接接触的化学介质中不允许有金属出现。
设备台面排列布置如(台面布置图)所示,共3个腐蚀工作位,3个水洗工位;所有槽工作在洁净、全封闭的结构中,工作参数通过触摸屏设置。每个工位均设置单独控制按钮(开始,停止,急停),可分别控制4个工艺位;将来清洗片盒手工放在机械手上,操作人员按“开始/start按钮”后,进行工艺动作;清洗完成后系统发出报警提出信号,待人工手动取出。设备台面的左、右前方分别配置PP材料的水(2把,2把水枪),便于工件及设备的清理;设备整机放置于一个PP承露盘中,防止药液漏液至高架地板,承露盘中设置漏液传感器,漏液报警。