$item.Name

首页>半导体行业专用仪器>湿法工艺设备>湿法清洗设备

铌酸锂/钽酸锂晶棒腐蚀机

型号
苏州瑞红昕芯科技有限公司

免费会员 

生产厂家

该企业相似产品

铌酸锂/钽酸锂抛光后清洗机

在线询价

晶片腐蚀机

在线询价
半导体湿法腐蚀清洗设备,wet bench,晶圆清洗机,RCA清洗机,重腐蚀机,刻蚀机,wet ETCHing,供液装置,桶清洗设备,灌装,铌酸锂/钽酸锂清洗机,氧化钾清洗机,lift-off,去胶,去蜡,刷洗机,基板清洗机,掩膜版清洗机,mask

苏州瑞红昕芯科技有限公司是国内湿制程工艺设备制造商之一;公司经过多年行业沉淀,积累了一批经验丰富的研发、设计、生产、销售及售后团队;目前不仅可以根据客户工艺适配设备;还能与客户共同工艺验证,开发符合客户工艺需求设备;更能通过客户需求工艺设备开发及打样验证;技术方面更与日本SANTECH取得技术合作;产品涉及槽式、片式、洗刷式等一些列产品;

公司一直秉持开放 合作 共赢的经营理念;服务好每一位新老客户

企业文化:

人才:引进与培养人才是公司人力资源模块的重要部分,截止目前为止公司已经完成人员高素质、高技术的转变。

企业精神:高效 务实 创新 超越

经营理念: 以人为本 诚信立业 规范操        作 求远务实

市场战略:东西南北齐飞、国际国内共同发展

企业愿景:成为国内外”头部”湿制程技术设备服务商

Team:

简单:人与人之间交流的简单,追求设计产品的简单。

正直:信守承诺,做正直的事,做正直的人。

创新:创新是进步的灵魂,勇与尝试,大胆想象。

超越:从优秀更上一层楼,不断超越,锐意进取。

成长:广阔的成长空间,让成长进步贯穿RHXX每一天。

我们是一支专业的团队。我们的成员拥有多年的专业技术背景,来自国内外公司的一线骨干。我们是一支年轻的团队。充满了朝气和创新精神。

我们是一支专注的团队。我们坚信,安全的品牌源自客户的信任。只有专注,才能做好。

我们是一支有梦想的团队。我们来自不同的地方,因为一个共同的梦想:



详细信息

铌酸锂/钽酸锂晶棒腐蚀机

1、设备概况

               ² 设备名称:铌酸锂/钽酸锂晶棒腐蚀机

² 设备型号:RHXX-F200

² 产品规格:D=100~200mm H=50-100mm

² 处理能力:MAX8寸晶棒

整机尺寸:约1800mm(L) ×1200mm(W) ×2400mm(H)

2、构造特点

      设备结构外型,整机主要由机架、工艺槽体、机械手系统、排风系统、电控系统、水路系统及气路系统等组成。

由于工艺槽内药液腐蚀性强,设备需要做防腐处理:(1)设备机架采用钢结构骨架包塑;(2)壳体采用瓷白色PP板材焊接成型,制程区由耐酸碱PP板材组合焊接而成:(3)电气区设置在设备后上部,与湿区和管路区隔离;(4)槽体材料选用耐相应溶液腐蚀的材料;(5)机械手探人湿区部分的零部件表面喷氟或套PFA管处理或为铁氟龙加工件。

3、安全保护

² 设备探入湿区导线采用耐腐蚀导线并采用氟套管进行保护,防腐防水

² 设有防漏电断路保护装置

² 电控部分正压空体保护,防水防腐

² 配有漏电流断路保护装置以及过温过载保护装置

² 设备有可靠的接地装置及紧急关机和报警系统

² EMO紧急开关位于机台上方明显处

² 蜂鸣器声鸣提示工作完成,三色报警灯及蜂鸣声光故障报警

² 机台底部设有防漏盘及漏液感知

² 液位异常感知/安全液位保护

² 配有加热保护,防干烧

4、供/排液装置

控制部分与泵等独立于酸洗机单独的柜体内,并配备有独立抽风系统。

输送介质:酸

酸桶:每种介质20L桶(2个)

操作形式:PLC自动控制;并配空桶报警(供液)和满桶报警(排液用);

气动隔膜泵:每种酸配1台泵;排液也是1台泵

噪声:≤70dB

设备尺寸:1000mm(L)×1000mm(W)×1500mm(H)(以实际设计为准)

5、售后服

² 本设备质保期12个月;

² 在质保期间,供方免费提供设备维护,软件升级;

² 售后服务响应时间:接到通告后2小时内提供电话解决方案。如需要,技术工程师24小时内到达设备工作现场;

² 质保期后供方优先优价向用户提供所需的备品备件;

² 供方对以上设备提供终身售后服务和技术支持。






相关技术文章

同类产品推荐

相关分类导航

产品参数

企业未开通此功能
详询客服 : 0571-87858618
提示

请选择您要拨打的电话:

当前客户在线交流已关闭
请电话联系他 :