设备主要由真空腔室、真空系统、电阻加热器、水冷系统、炉门开启 机构等部件组成。

1)真空室

真空室是真空设备的重要部件，主要由焊接炉盖、焊接炉体、焊接炉 底、保温屏、电阻加热系统组成。

   焊接炉盖为平板及法兰盘组焊而成。内壁为不锈钢板（厚 4mm），保证 可焊性与法兰焊接一体，表面涂漆，使设备整体统一美观。法兰盘材料为 不锈钢，设备使用过程中不会生锈，保证密封圈可靠密封，炉盖与炉体采 用单轴铰链结构连接，关闭开启灵活，炉盖上有预紧机构，易于操作，可 方便定期的维修保养。炉盖上面还开设有观察窗孔。

焊接炉体采用双层水冷夹壁结构，内层材料为不锈钢（厚 4mm）、外层 材料为不锈钢板(厚 3mm) ，与不锈钢法兰盘（碳钢法兰）组焊而成，有螺 旋分水环使冷却水与炉壳进行充分的热交换，冷却效果好。炉体上设有真 空系统的预抽气口和旁路小抽速抽气口。预抽气口和小抽速抽气口分开有 利于粉料烧结时不易被抽出。炉体还设置电源电极输入接口及安全泄压管 道口，一旦炉压发生异常可自动机械打开泄压。

焊接炉底为双层水冷壁，所用板材及加工形式与炉盖相同。炉底中部 开设铰链式进出料口。

加热系统是由不锈钢板焊接组成框架，与壳体连接。内部放置一个保 温桶。内放置电阻加热管式反应区，热量辐射到坩埚管对产品进行加热。

电阻加热器在炉体内分成左右两部分，电源输入方式采用并联，有利 于保证有效加热区的温度均匀性。高温用热电偶测温。

保温屏采用氧化铝多晶纤维耐火棉组成，工作温度高，隔热性能好，

密度小、重量轻，化学稳定性好，热惯性小可实现很高的控温精度，固定 于不锈钢拖架上装于壳体内，上部与底部保温材料相同，加热器内的保温屏可整体拆卸，便于安装、检修。

2)   真空系统

由于材料在高温下反应生成大量的气体，另外保温屏的放气量也很大， 所以真空系统的选用一台 2X-15 机械真空泵及一台TK-100 扩散泵组成，真空阀采用上海真空阀门二厂制作的气动挡板阀，其真空性能良好，动作可靠；预抽旁路阀门采用小流量手动挡板阀调节、充气阀、放气阀等直接装  于真空主管道侧的阀门均为上海西马特的产品，这些阀的泄漏极小且性能可靠，保证了真空室压升率可达到 4Pa/h 。另外，由于有挥发存在，在真空阀前面设置一个挡板及过滤器装置，以防粉尘进入真空阀及真空泵。

真空系统组成如下：

1)  1——2X-15                 1台         （浙江真空）

2)  2——TK-100-扩散泵         1台          （成都南光）    

（可选配）

3)  3——GDQ-J100气动挡板阀    1个          （上海阀门二厂）

4)  4——GDQ-J16气动挡板阀     3个           （上海西马特）

5)  5——GD-J16  手动挡板阀    1个            （上海西马特）

6)  6——DDC-JQ50 电磁充气阀   1个            （上海阀门二厂）

7)  7——热偶规                1 个             （成都睿宝）

8)  8——复合真空计            1个             （成都睿宝）

9)  9——YZ-100压力真空表      1个              （天川）

3)   水冷系统（开放式）

炉体、炉盖、炉底等所有夹层结构、电极及橡胶圈部位均通冷却水冷 却，机械泵及罗茨泵也通冷却水冷却。管线走桥架，布置合理美观，管线 有标示。炉体、炉盖、炉底冷却水进出水增加 1 路。

4)   进出料及炉盖开启系统

炉盖及收料台采用铰链的手动方式，炉盖是采用锁紧打开，收集料管 导轨移出，使装料操作更方便化，动作平稳，无颤动、阻滞现象，运行可 靠，具备足够强度。整体结构紧凑，美观大方。一体化。