炉体

炉体由炉门、炉体及炉架组成。炉门采用带水冷却的双层结构，与法兰组焊成一个整体，采用 SUS304 材质，内表面精密 抛光处理，外表面喷砂处理。炉门上设有冷却水进出口、观察窗等。炉门与炉体连接采用特 制的铰链，该铰链由钢板焊接而成，炉门开启方便。

炉体采用双层水夹层结构，与前、后法兰组焊成筒形结构，法兰平面上开设有燕尾型密 封槽，采用 O 型硅橡胶密封圈密封。炉体采用 SUS304 材质，内表面精密抛光处理，外表面 喷砂处理。炉体侧面设有冷却水进出口、真空抽气口、电极安装口、热电偶安装口、 自动充 放气接口等。

炉架采用碳钢型材及板材焊接而成，表面喷塑处理，用以支撑整个设备。

2）炉门锁紧装置

炉门锁紧采用齿圈式结构，由气缸带动打开及锁紧，适用于微正压工作环境，操作方便。

3）加热系统

加热采用高纯石墨作发热体，圆周排布，保证温场的稳定性，高纯石墨纯度高，无挥发，

有效保证炉腔内的清洁度。隔热材料采用石墨成型纤维硬毡，表面覆石墨纸，保温效果好， 耐冲击性好。整个隔热屏采用金属框架固定，便于安装与维护。反应区和收集区设置一封闭 的石墨箱体，中间以石墨环滑块连通，工作时，将产品放置在反应区的石墨箱内，加热产生 的产物气体在真空及温差的驱动作用下，在低温收集区沉降，收集区的石墨箱内可放置物料 收集器具。

温度控制采用 B 型热电偶，具有可靠性高、适用范围广、使用寿命长等特点。

4）收料仓

腔体底部有支撑装置，用于支撑收料仓，使其水平放置于腔体内部。收料仓采用 SUS310S 不锈钢，放置于腔体内，一端与加热区相连。收料仓不小于 60L，具体尺寸可根据实际设计 尺寸确定。

5）充放气系统

本设备配置一路自动充放气系统，由流量计、CKD 电磁阀、手阀、压力传感器、接头等 组成。由压力传感器及电磁阀形成闭环控制系统，可对炉内气氛压力进行控制。当炉压超过 设定值时，排气阀自动打开，进行泄压。手阀可以根据实际情况，适当调整气体流量。同时， 充入适量的惰性气体可以调节炉内真空氛围。

6）真空系统

真空系统采用二级泵配置，由一台油扩散泵，一台机械泵、气动高真空挡板阀、充气阀、 放气阀、真空压力表、压强控制仪等组成，可实现快速抽真空。真空泵与炉体之间装有过滤 网，起到保护真空泵的作用。真空管道与泵的联接采用金属波纹管减缓震动，炉内的真空度 由压强控制仪来控制，可实现 10～10-2Pa 的真空范围。

7） 电气控制系统

电气控制系统有触摸屏、电气柜、接触器、互感器、可控硅模块、温控表、指示灯、PLC 等元件组成。主要品牌为正泰或同等级品牌，温控表采用厦门宇电可编程智能温度调节仪表， 控温精度±1℃ , 具有 PID 调节、超温报警、断偶指示、温度补偿等功能。

8）水冷却系统（冷却水源自备）

水冷系统由进出水总管道、阀门及各支路组成。冷却水由进水总管进入后，经过各支管 送到炉门、炉体、炉底、水冷电极、水冷电缆、真空泵、冷阱等需要冷却水的地方，然后汇 总到出水总管排出。总进水管路设有电接点压力表，具有断水声光报警并切断电源功能。各 支路水管采用透明塑胶软管和金属波纹管，通过不锈钢接头联接进出水总管道及设备各进出 水口。每路冷却水进水管都装有手动阀门，可手动调节水流量大小。

9）变压器及联接电缆

选用与使用功率相匹配的干式隔离变压器。含有保护罩和警示标志，起到保护作用。