- 面议
起订量：
VPG 200 / VPG 400 有掩膜光刻机
- 型号
- VPG 200 / VPG 400
深圳市矢量科学仪器有限公司是集半导体仪器装备代理及技术服务的高新技术企业。
致力于提供半导体前道制程工艺装备、后道封装装备、半导体分析测试设备、半导体光电测试仪表及相关仪器装备维护、保养、售后技术支持及实验室整体服务。
公司目前已授实用新型权利 29 项，软件著作权 14 项，是创新型中小企业、科技型中小企业、规模以上工业企业。
详细信息
1. 产品概述：
VPG 200 / VPG 400 体积图形发生器是光刻系统，为 i-line 光刻胶的多用途掩模制造而设计。它们支持所有标准的中小型面罩尺寸，大尺寸为 410 x 410 mm++2.
写入模式 | I-QX系列 | 一代 | 二代 | 三代 |
写作表现 | ||||
小结构尺寸 [μm] | 0.75 | 0.75 | 1 | 2 |
小行数和间距 [μm] | 1.5 | 1.5 | 2 | 4 |
地址网格 [nm] | 12.5 | 12.5 | 25 | 50 |
边缘粗糙度 [3σ， nm] | 30 | 40 | 50 | 70 |
CD均匀度 [3σ， nm] | 55 | 65 | 75 | 110 |
拼接稳定性 [3σ， nm] | 30 | 60 | 70 | 100 |
第 2 层对准 [nm] | 225 | 225 | 350 | 500 |
写入速度 [mm²/min] | 485 | 970 | 3150 | 6400 |
100 x 100 mm 的曝光时间2面积 [min] | 28 | 14 | 5.6 | 3.5 |
系统特点 | |
光源 | 355 nm 的高功率 DPSS 激光器 |
大基板尺寸 | 9 英寸 x 9 英寸/17 英寸 x 17 英寸 |
基板厚度 | 0 至 12 mm （可根据要求提供其他厚度） |
大曝光面积 | 205 x 205 毫米2/ 410 x 410 毫米2 |
自动对焦 | 实时自动对焦系统（光学和气动） |
自动对焦补偿范围 | 高达 80 μm |
流量箱 | （闭环）温控环境试验箱 |
对准 | 用于测量和对准的相机系统和软件包 |
其他功能和选项 | 2D载物台贴图和数据、Mura校正、边缘检测器、多种数据输入格式（DXF、CIF、GDSII、Gerber等）、可选的自动掩模处理、可选的Zerodur®载物台和特殊卡盘 |
系统尺寸 | |
系统 / 电子机架 | |
宽度 [mm] | 2605 / 800 |
深度 [mm] | 1652 / 650 |
高度 [mm] | 2102 / 1800 |
重量 [kg] | 3550 / 180 |
安装要求 | |
电气 | 400 VAC ± 5 %， 50/60 Hz， 16 A， 3 相 |
压缩空气 | 6 - 10 巴 |
