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ULTRA 激光掩模光刻机
- 型号
- ULTRA
冷热台，快速退火炉，光刻机，纳米压印、磁控溅射，电子束蒸发
深圳市矢量科学仪器有限公司是集半导体仪器装备代理及技术服务的高新技术企业。
致力于提供半导体前道制程工艺装备、后道封装装备、半导体分析测试设备、半导体光电测试仪表及相关仪器装备维护、保养、售后技术支持及实验室整体服务。
公司目前已授实用新型权利 29 项，软件著作权 14 项，是创新型中小企业、科技型中小企业、规模以上工业企业。
详细信息
产品概述：
ULTRA半导体光掩模光刻机是门用于成熟半导体光掩模的合格激光掩模机。半导体光掩模用于制造电子设备，包括微控制器、电源管理、LED、物联网 （IoT） 和 MEMS。
操作 | |
用户界面（软件） |
半兼容 GUI |
大写入区域 | 228 x 228 mm² （可根据要求提供其他尺寸） |
基板尺寸 | 4 英寸、5 英寸、6 英寸、7 英寸和 9 英寸口罩（可根据要求提供更大的和其他基材） |
系统特点 | |
光学 | 0.9 NA物镜 |
激光 | 355nm波长的高功率二管泵浦固体激光器 |
对焦系统 | 实时光学自动对焦 |
对准 | 摄像系统 |
数据路径 |
实时压缩 |
空间光调制器 |
频率 350 kHz |
自动化 |
全自动口罩处理，带两个大 9 英寸的输送站;可选的 SECS/GEM 协议 |
系统尺寸 |
系统 / 电子机架 |
宽度 [mm] | 2995 / 800 |
深度 [mm] | 1652 / 650 |
高度 [mm] | 2102 / 1800 |
重量 [kg] | 3400 / 180 |
安装要求 | |
电气 | 400 VAC ± 5%，50/60 Hz，16A，3 相 |
压缩空气 | 7 - 10 bar （不含油或其他残留物） |
