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KS-S300-ST 单片湿法去胶机
- 型号
- KS-S300-ST
冷热台，快速退火炉，光刻机，纳米压印、磁控溅射，电子束蒸发
深圳市矢量科学仪器有限公司是集半导体仪器装备代理及技术服务的高新技术企业。
致力于提供半导体前道制程工艺装备、后道封装装备、半导体分析测试设备、半导体光电测试仪表及相关仪器装备维护、保养、售后技术支持及实验室整体服务。
公司目前已授实用新型权利 29 项，软件著作权 14 项，是创新型中小企业、科技型中小企业、规模以上工业企业。
详细信息
1. 产品概述
用于先进封装工艺过程中的晶圆去胶制程和金属剥离制程。设备可搭载槽式浸泡单元、高压喷淋或二流体喷淋去胶单元、清洗及干燥单元等工艺模块，满足各种品牌型号、各种厚度的正负性光阻去除及金属剥离等工艺。具有药液回收循环过滤再使用、金属高效率回收等功能。
2. 产品优势
1.槽式浸泡与单片旋转喷淋方式相结合，提高产能
2.高压或二流体喷淋可除去光刻胶
3.基片干进湿传干出
4.去胶液回收、循环过滤再使用，降低用户成本
5.贵重金属回收
3. 应用域
●封装域中的光阻去除工艺，掩膜版清洗等
●OLED 域中的光阻去除及蒸镀后金属剥离等工艺
