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PE-D20 全新HORIBA堀场 紧凑机身中的控制单元
中级会员第2年
经销商池田屋实业(深圳)有限公司成立于2015年,位于广东省深圳市,是一家从事中日贸易的企业。
公司经过多年的发展,已整合多方海外厂商渠道,有稳定的合作关系,为企业提供售卖、维修、售后等一系列节能降本的服务。池田屋主要经营日本科学仪器设备、实验室仪器、各类检测仪器、测量仪器、食品设备、光学设备、精密传感器等各类工业流通产品。
公司拥有专业的销售团队、技术团队、管理团队,通过全体员工的不懈努力,凭借在工业品领域的专业水平和成熟技术,服务于电子消费类、半导体,液晶光电,汽车业、造船业、地铁、等专业用户里的世界500强企业。
全新HORIBA堀场 紧凑机身中的控制单元
全新HORIBA堀场 紧凑机身中的控制单元
随着半导体制造薄膜沉积工艺中微细加工的进步,处理后保持腔室清洁对于提高生产率变得非常重要。 IR-400系列是用于薄膜沉积工艺的腔室清洁终点检测监视器,可实时监测废气成分(SiF4、CF4)。通过优化干洗终点检测、减少清洁气体消耗和时间以及减少室损坏,有助于延长零件的使用寿命。
宽广的流量控制范围,从 10 SCCM 到 1000 SLM
流量控制范围可以从满量程流量值的 2% 开始执行
高精度:±1.0% 提高 SP 流量精度
配备数字校正功能,实现设定点精度
全流量范围快速响应:1秒内完成全量程
配备多气体/多量程功能,
允许用户改变气体类型和满量程流量。
在整个流量范围内(上升、下降、设定值到设定值)响应时间为 100 毫秒或更短
自诊断多重诊断功能
改进的压力不敏感功能
高流量精度 (±0.8 %SP) 和重复性 (±0.15 %SP)
兼容环境温度范围广(15-60℃)
0.1 至 100% 的宽范围控制和低流量下的高精度
提供了过程优化和灵活性。
小于500毫秒的高速响应
级别,
尺寸仅为其他公司的 1/20,传感器截面尺寸仅为 5 厘米。非常适合整合到设备中
该传感器配备有由16根电极棒组成的9个四极杆部分,具有的结构,尽管其尺寸最小,但仍实现了高灵敏度。
低真空(高压)操作
当测量总压力高达 0.5 Pa(对于 2-65 m/z 传感器)时,无需准备额外的差压泵系统。
用户可更换的传感器
校准过滤器可以在现场轻松更换,无需拆卸设备。
一台安装了专用通信
软件的 PC 通过 RS-485 通信最多可以连接 8 台设备。它还具有适合设备集成的模拟输入/输出。
用户友好的 Micropole ScannerTM 2 软件是为专用软件QL-SG02 开发的,可实现 QL-SG02 的控制、数据采集、可视化和分析。