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MA200 Gen3 掩模对准光刻机
- 型号
- MA200 Gen3
冷热台，快速退火炉，光刻机，纳米压印、磁控溅射，电子束蒸发
深圳市矢量科学仪器有限公司是集半导体仪器装备代理及技术服务的高新技术企业。
致力于提供半导体前道制程工艺装备、后道封装装备、半导体分析测试设备、半导体光电测试仪表及相关仪器装备维护、保养、售后技术支持及实验室整体服务。
公司目前已授实用新型权利 29 项，软件著作权 14 项，是创新型中小企业、科技型中小企业、规模以上工业企业。
详细信息
MA200 3代提供适应众多生产过程的智能化解决方案。多样化的对准方案、灵活可调的镜头系统和特殊附加选项使本系统成为处理各种不同工艺的全能设备。
高度自动化且切实节省宝贵的处理时间。这也体现在细节方面，例如选择自动更换滤光片，以便维持低运营成本。
MA200 3 代在设计方面着重凸出用户友好性。如可调节高度的显示器、符合人体工程学的I / O接口、连续运行期间更换晶圆盒和直接观看曝光模块等特性大大简化了设备操作，即使是在高负荷工作时。
凭借其广泛的附加选项，第 3 代 MA200 很容易就能达到特种光刻工艺的要求。
