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VPG 800 / VPG 1400 有掩膜光刻机
- 型号
- VPG 800 / VPG 1400
深圳市矢量科学仪器有限公司是集半导体仪器装备代理及技术服务的高新技术企业。
致力于提供半导体前道制程工艺装备、后道封装装备、半导体分析测试设备、半导体光电测试仪表及相关仪器装备维护、保养、售后技术支持及实验室整体服务。
公司目前已授实用新型权利 29 项，软件著作权 14 项，是创新型中小企业、科技型中小企业、规模以上工业企业。
详细信息
VPG 800 / VPG 1400 有掩膜光刻机为光掩模（0.8至1.4 m）的高通量图案化而定制。VPG1400是我们专为显示行业设计的最大的系统。它是平板显示器 （FPD） 应用的好的选择，例如 TFT 阵列、彩色滤光片和 ITO。这些工具还用于先进封装、半导体、LED 和触摸屏应用的工业大面积光掩模应用。
VPG 800 / VPG 1400 有掩膜光刻机
大光刻面积VPG+：技术的领航
大光刻面积的VPG +维持原VPG系列为根基再进化，使其更加出色。VPG于2007年推出; 是拥有专量产型曝光技术光刻系统，可靠和经济的解决方案，适用于要求严谨的掩膜板制造。
速度更快：超高速曝光
VPG+系列具有海德堡所研发的高速光学调制器，在速度下，曝光时间可以达到原始VPG的三倍！强化了曝光动能与数据传输路径。
功能和选项：配备性能
VPG +可配置各种平台尺寸，最大可达1400mmx1400mm。 该系统具有355nm波长的紫外激光源，空气轴承平台，半自动或全自动入料器，用于基板装载的温控环境室。
应用：光罩制造和直接写入
大光刻面积的VPG +系统适用于advanced packaging, semiconductors, displays, color filters, light emitting diodes, touch panel以及life science应用。出色的图像质量和对位功能，也非常适合在大面积执行多层套刻直写。
VPG+ 最大型的设备VPG+ 1400专门针对显示器相关行业应用：是所有VPG+系列中功能具有极其完善的温控环境室，差分干涉仪和先进的mura校正以及面板间距优化功能。
