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LSA 201 环境控制激光尖峰退火设备
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冷热台，快速退火炉，光刻机，纳米压印、磁控溅射，电子束蒸发
深圳市矢量科学仪器有限公司是集半导体仪器装备代理及技术服务的高新技术企业。
致力于提供半导体前道制程工艺装备、后道封装装备、半导体分析测试设备、半导体光电测试仪表及相关仪器装备维护、保养、售后技术支持及实验室整体服务。
公司目前已授实用新型权利 29 项，软件著作权 14 项，是创新型中小企业、科技型中小企业、规模以上工业企业。
详细信息
1.产品概述：
Veeco 的 LSA201 激光尖峰退火 （LSA） 系统具有与 LSA101 相同的架构，但包括获得利的微室设计，可在扫描激光系统中实现全晶圆环境控制。该微室在于它不需要使用真空负载锁。该系统能够运行任何惰性气体的混合物，包括合成气体。LSA201 适用于高 k 金属栅结活化和镍硅化物形成等应用。LSA201 非常适合 20nm 以下的工艺，例如环境控制至关重要的界面工程和材料改性。
2.产品特点
长波长、布鲁斯特角、p 偏振光，可实现佳的芯片内均匀性
闭环温度反馈控制，保持严格的温度控制
布局独立设计，非常适合处理平面和 FinFET 器件
具有灵活停留时间的局部应力场可实现低应力处理并减少晶圆破损。
