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THEORIS X302系列 12英寸立式中高温氧化炉
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深圳市矢量科学仪器有限公司是集半导体仪器装备代理及技术服务的高新技术企业。
致力于提供半导体前道制程工艺装备、后道封装装备、半导体分析测试设备、半导体光电测试仪表及相关仪器装备维护、保养、售后技术支持及实验室整体服务。
公司目前已授实用新型权利 29 项,软件著作权 14 项,是创新型中小企业、科技型中小企业、规模以上工业企业。
1. 产品概述:
THEORIS X302主要用于12英寸600℃-1200℃氧化及退火工艺。该机台为立式单腔炉管系统,工艺处理过程实现了高度自动化。系统主要由传输模块、工艺模块、电源柜等部分组成。
2. 设备应用:
晶圆尺寸
12英寸
适用材料
硅
适用工艺
高温干/湿氧氧化、DCE氧化、掺氮氧化、高温退火
适用领域
先进集成电路、功率半导体、衬底材料
3. 特色参数:
湿氧氧化工艺是在氧气中加入水汽来进行氧化反应。北方华创 THEORIS X302 氧化炉设备在湿氧氧化工艺中表现出色。它能够精确控制水汽的含量和输入方式,以实现对氧化膜生长速率和质量的精准调控。在温度控制上,同样具备高精度的特点,确保在湿氧环境下硅片受热均匀,从而形成均匀、致密的氧化膜。气体流量的调节也非常精准,能够根据工艺需求灵活调整氧气和水汽的比例,满足不同产品对湿氧氧化工艺的特殊要求。其优秀的工艺稳定性和重复性,使得湿氧氧化工艺的结果可预测且可靠。
4.设备特点
先进的颗粒控制技术
先进的金属污染控制技术
高精度温度场控制技术
支持快速升/降温度技术
高产能