1.产品概述：

laurell的H6-15系列匀胶机结构紧凑，具有先进的功能，设计为容易安装在手套箱中的旋涂机。这款650系列HL涂布机系统 将 可容纳高达300mm 的晶圆和9英寸×9英寸（229mm×229mm）基板，大转速为 12,000 RPM（基于100mm硅片）。

2.设备原理：

利用电机高速旋转时所产生的离心力使胶液均匀地涂敷在基底材料的表面，形成一层微米或纳米厚度的均匀薄膜。

3.产品特色：

所有HL 系列系统都包括一个无线平板电脑，该平板电脑具有Laurell Touch 过程控制软件。

通过使用其随附的PC 软件Spin 3000，它在流程定义和使用方面都实现了高的灵活性。该无线控制器允许操作员在实验室的任何地方进行实时交互，包括暂停时间、停止和从该点继续。该系统可以并且将通过可下载的固件修订版在现场轻松快速地持续更新。

这些过程在控制水平下运行，我们提供的复杂性。HL 系列控制器也可以与带有 Spin 3000 的 PC 结合使用， Laurell 的流程管理软件。但是，这不是编程或运行设备所必需的。

使用 PC 增加了在运行过程、远程操作、编程或通过 LAN 或 Internet 进行通信时记录过程的能力。该软件免费提供，允许操作员在实际安装的自旋处理器硬件之外创建虚拟过程模拟，实际上，让他们在进入过程之可以尝试一下。所有HL系列系统都可以在不返回工厂的情况下通过简单的插件模块进行升或重新利用，无论是实际的还是虚拟的，并且可以包含几乎无限数量的流程和步骤。