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FZ-14 区熔晶体生长系统
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深圳市矢量科学仪器有限公司是集半导体仪器装备代理及技术服务的高新技术企业。
致力于提供半导体前道制程工艺装备、后道封装装备、半导体分析测试设备、半导体光电测试仪表及相关仪器装备维护、保养、售后技术支持及实验室整体服务。
公司目前已授实用新型权利 29 项,软件著作权 14 项,是创新型中小企业、科技型中小企业、规模以上工业企业。
产品数据概览:
材料:硅
晶体
晶体 1,100 mm
晶体拉动长度: 长达100 mm (4″)
晶体直径: 2.5 x 10-5 mbar
极限真空度: 0.5 bar(g)
发电机
输出电压: 30 kW
频率: 2.4 MHz
上轴
进料速度: 最高30 mm/min
上部旋转: 最高35 rpm
下轴
拉动速度: 最高 30 mm/min
下部旋转: 最高 30 rpm
尺寸规格
高度 6,280 mm
宽度: 2,750 mm
深度: 3,000 mm
重量(总): 约 4,900 kg
区熔(FZ)技术作为提纯方法为生产高电阻率的超纯硅单晶提供了技术可行性,该技术可应用于高性能电子和半导体技术领域。其另一优点是可以从气相中连续掺入,这使得在整个晶体的电阻率沿长度方向保持一致。因此,几乎可以在整个晶体上均匀地实现所需的电性能。由于电荷载流子的高寿命和极低的氧含量(无坩埚工艺),FZ晶体同样也适用于光伏行业。
区熔(FZ)技术作为提纯方法与CZ直拉工艺等竞争方法相比,FZ工艺的优势在于只有紧邻感应线圈的一小部分晶体需要被熔化,无需使用石英坩埚(每炉次耗用一个),可实现高拉速,因此降低了耗材成本的同时也降低了能源成本。此外,无论是从硅还是其他合适的材料中提取的晶体,可以通过多次处理,显著地提高纯度。