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Kronos 垂直梯度凝固法系统
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深圳市矢量科学仪器有限公司是集半导体仪器装备代理及技术服务的高新技术企业。
致力于提供半导体前道制程工艺装备、后道封装装备、半导体分析测试设备、半导体光电测试仪表及相关仪器装备维护、保养、售后技术支持及实验室整体服务。
公司目前已授实用新型权利 29 项,软件著作权 14 项,是创新型中小企业、科技型中小企业、规模以上工业企业。
1. 产品概述:
垂直梯度凝固法系统 Kronos 是 PVA TePla 公司推出的一种先进材料制备设备。它主要利用垂直梯度凝固技术,在特定的温度和气氛条件下,使材料从熔体中定向凝固生长,从而获得高质量、具有特定晶体结构和性能的材料。
2. 设备应用:
· 半导体材料领域:用于生长半导体晶体,如硅、锗等,这些晶体是制造集成电路、电子器件的基础材料,所生长的高质量晶体可以提高半导体器件的性能和可靠性。
· 光电材料领域:可制备用于发光二极管(LED)、激光二极管等器件的材料,如砷化镓(GaAs)、磷化铟(InP)等,有助于提升光电转换效率和发光性能。
· 太阳能电池领域:用于生产太阳能电池用的硅基材料,通过精确控制晶体生长过程,提高太阳能电池的光电转换效率和稳定性。
3. 设备特点:
· 高精度温度控制:配备先进的温度控制系统,能够在整个生长过程中精确控制温度梯度,确保晶体生长的稳定性和均匀性,从而获得高质量的晶体材料。例如,在生长硅晶体时,可精确控制温度在极小的范围内波动,保证硅晶体的结构完整性和电学性能。
· 优化的生长气氛:可以精确控制生长环境中的气体成分和压力,为晶体生长创造最佳的气氛条件,有效减少杂质和缺陷的形成。比如在生长某些对氧含量敏感的晶体时,能严格控制氧气的含量,防止晶体被氧化。
· 自动化程度高:系统具备高度自动化的操作流程,从材料装填、生长参数设置到生长过程监控和结束后的处理,都可以实现自动化控制,减少了人工干预带来的误差和不确定性,提高了生产效率和产品质量的稳定性。
· 可定制化:能够根据不同用户的需求和特定材料的生长要求,进行定制化的设计和调整,满足多样化的科研和生产需求。例如,对于不同尺寸和形状的晶体生长需求,可调整设备的腔体结构和相关部件
4. 产品参数(以部分为例):
材料:砷化镓,磷化铟
坩埚直径:4–6"
坩埚高度:高达450 mm
炉室直径:800 mm
炉室高度:975 mm
工作压力:大40 bar
尺寸规格
高度:2,900 mm
宽度:1,650 mm
深度:1,350 mm
设备总重量:3,500 kg