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BTF-1600C-CVD-D2 1600℃多源高温CVD系统
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生产厂家安徽贝意克设备技术有限公司成立于2012年,基地位于安徽合肥,是一家集新材料设备研发、生产、销售与技术服务于一体的高科技企业。
公司重视技术攻关和产品研发,建有超卓的产品研发中心,拥有一支由多名博士硕士组成的专业研发队伍,累计获得patent200余项。并通过产学研合作,与北京大学南开大学等多所院校建立联合实验室及研究生联合培养基地
公司专注于新材料装备工艺开发及装备制造,产品门类涵盖了OLED材料提纯专用设备系列、碳材料制备设备系列、半导体专用设备系列及金属纳米颗粒设备系列四大类共十余个子类,与众多材料厂商、科研院校等保持长期合作关系,市场营销网络遍布全球各地。
连年来,公司相继被认定为“高新技术企业”“专精特新企业““科技小巨人培育企业”“石墨烯生长设备工程技术研究中心”“瞪羚企业”“雏鹰企业”,并接连获得“中国隐形独角兽500强”“科技创新奖”“创新创业奖”等多项荣誉。
这是一台1600℃多源高温CVD系统。本设备按客户要求加装刚玉管一支,加热炉,循环泵、排风系统、机架等。电气控制采用内置控温仪表,其控温精准且操作直观简便。炉管为刚玉管,外径¢60m,长度1000mm。炉管横放固定于炉膛内。左端法兰为进气端,配有压力保护组件和2个进气口,其中一路由截止阀控制,为进混气;另外一路为环硼氮烷,通过电磁阀+单向阀控制;右端法兰为出气端,配有蝶阀控制的压力控制系统和真空泵组成,法兰前端配有搅拌机构,对于尾端沉积物料具有清理作用,同时配有过滤组件。设备进气端液态源蒸发组件制冷制热由循环泵工作,通过循环泵工作,以及管道保温及腔体保温隔绝等方法实现低温、高温下的切换。液态源密封腔室和加热炉密封腔室,均通过PVC管道连接至腔室顶部,通过管道风机与客户排风系统对接。这台1600℃多源高温CVD系统设备采用承重框架结合钣金包围形式。炉体和门板颜色采用深灰+时尚橘纹白。设备简约又不乏稳重,更具备操作直观方便、控温精确等性能。
额定功率 | 6.5KW |
额定电压 | AC 220V 50/60Hz |
最高温度 | 1600℃ |
使用温度 | ≤1350℃ |
推荐升温速率 | 1400℃以下≤10℃/min;1400℃-1600℃≤5℃/min |
控温方式 | 模糊PID控制和自整定调节,智能化30段可编程控制 |
加热区长度 | 300mm |
炉管尺寸 | 刚玉管Φ60×1000mm |
热电偶 | B型热电偶 |
控温精度 | ±1℃ |
加热元件 | 硅钼棒(6根) |
炉体尺寸 | 1930*1450*1935mm |
净重 | 500Kg |