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BTF-1200C-SL-A 等离子增加化学气相沉积CVD系统
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生产厂家安徽贝意克设备技术有限公司成立于2012年,基地位于安徽合肥,是一家集新材料设备研发、生产、销售与技术服务于一体的高科技企业。
公司重视技术攻关和产品研发,建有超卓的产品研发中心,拥有一支由多名博士硕士组成的专业研发队伍,累计获得patent200余项。并通过产学研合作,与北京大学南开大学等多所院校建立联合实验室及研究生联合培养基地
公司专注于新材料装备工艺开发及装备制造,产品门类涵盖了OLED材料提纯专用设备系列、碳材料制备设备系列、半导体专用设备系列及金属纳米颗粒设备系列四大类共十余个子类,与众多材料厂商、科研院校等保持长期合作关系,市场营销网络遍布全球各地。
连年来,公司相继被认定为“高新技术企业”“专精特新企业““科技小巨人培育企业”“石墨烯生长设备工程技术研究中心”“瞪羚企业”“雏鹰企业”,并接连获得“中国隐形独角兽500强”“科技创新奖”“创新创业奖”等多项荣誉。
一、设备简介
BTF-1200C-SL-A是一款新型智能型滑轨CVD系统。本设备集真空系统、供气流量系统、自动推进、加热于一体,并将所有控制集成于触屏操控界面之中,使设备更加智能化,便于使用者操作。温度范围宽:100-1200度可调,加热区域长度:1650mm。适用范围宽:金属薄膜,陶瓷薄膜等,复合薄膜,连续生长各种薄膜等。
二、技术参数
功率 | 3KW |
额定电压 | AC 220V 50/60HZ |
最高温度 | 1200℃ |
工作温度 | 1100℃ |
推荐升温速率 | 10℃/min |
空开大小(自备) | 2P 40A |
炉管尺寸 | 高纯石英管Φ100*1400mm |
最大滑动距离 | 880mm |
控温方式 | 模糊PID控制和自整定调节,智能化30段可编程控制 |
控温精度 | ±1℃ |
加热元件 | 电阻丝 |
热电偶 | K型 |
质量流量计 | 两路500sccm+5000sccm |
机械泵 | 10m3/h |
设备净重 | 约230Kg |