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HCR系列 Thermionics 旋转电子枪 蒸发源 真空组件
- 型号
- HCR系列
- 参数
- 应用领域:综合
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详细信息
Thermionics 旋转电子枪 蒸发源 真空组件
HCR系列旋转电子枪是一种全金属密封的电子枪，有3到8个坩埚版本，最多可连续沉积8种以上的材料。标准安装在外径为12英寸的CF法兰上，包括自动分度器和所有机械和电气连接。
HCR系列旋转电子枪主要特征：
可提供3至8个坩埚
270°光束偏转
多坩埚，旋转设计
可互换坩埚组件
长寿命发射器组件
易于更换灯丝
永磁梁定位
整体式扫掠线圈
提供底部或侧面驱动
HCR系列旋转电子枪技术参数：
| Feature | Specifications |
| 最大功率 | 10 kW |
| 发射电压 | -6 to -10 kV |
| 发射电流 | 0 to 1 A |
| 灯丝 | 700 W |
| 电子束偏转 | 270° |
| 光束光斑尺寸 | .25″ diameter, tight beam |
| 蒸发率 | 1 gram/min @ 10 kW 36,000 Å/min Al @ 10″ (250 mm) source-to-substrate distance |
| X and Y 扫描 | Longitudinal and lateral control up to 200 Hz when operated with Thermionics sweep controller |
| 水 | 3 gpm, 20°C, 50 psi pressure differential |
| 坩埚材质 | OFE copper |
| 烘烤温度 | 120°C (250°F) |
HCR系列旋转电子枪安装配置
每个e-Gun 都有三种标准安装配置：
e-Gun™安装在PyraFlat或ConFlat金属密封型法兰上，该法兰使用标准OFE铜垫片
e-Gun™配备直径为1英寸的螺栓式安装座，通过直径为1”的孔安装，并由压缩O型圈密封
e-Gun™单独使用，无安装法兰
请在下单时安装配置；成本可能不包括螺栓式或法兰式安装。
Thermionics 旋转电子枪 蒸发源 真空组件
