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RCR系列 Thermionics 3KW多坩埚旋转电子枪真空组件
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代理商皕赫科学仪器(上海)有限公司代理众多欧美*仪器仪表设备,为了更好地服务客户和开拓市场,现诚招省级代理。
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Thermionics 3KW多坩埚旋转电子枪真空组件
根据需要选择 4 6 8 | |
根据需要选择 2.24cc 4毫升 | |
根据需要选择 右舵驾驶 左舵驾驶 后驱 底部驱动 |
新的 Thermionics 研究容量系列 3 kW 多坩埚旋转电子枪™提供增强的光束稳定性和高效的 XY 扫描,坩埚覆盖,自动分度器(单独出售)提供自动定位功能。
真正的 XY 清扫,坩埚覆盖
源附带的扫频线圈
增强的光束准直
插件发射器模块
增强的高稳定性冷却
交叉污染屏蔽
坚固的设计
可选的自动索引器
多坩埚 e-Gun 的工作原理与单坩埚源相同,具有以下优点:
蒸发剂供应量大 — 当每个坩埚都填充相同的源材料时,可以在单个真空循环中蒸发增加的蒸发剂体积。
在一个真空循环中沉积多达八种不同的材料 — 可以在一个真空循环中将不同的材料放入每个坩埚中,并按任何顺序沉积。沉积速率与单个坩埚模型的沉积速率相同。一次只加热一个坩埚。单丝保持静止,坩埚头由驱动手柄分度到位。因此,蒸发总是来自真空室中的相同的位置。非活性坩埚通过磁极片与加热的坩埚隔开,从而消除了坩埚之间的污染。
金属和弹性体密封件,测量的基压:2 x 10-9托。
主坩埚轮可以从源的顶部拆下,而无需拆卸源。这种灵活性允许现场升级。
所有多坩埚电子喷枪都可以安装在更大直径的 ConFlat 或矩形 PyraFlat 法兰上,单个或背对背。
工作压力 | 低于 5 x 10-5Torr 是最佳操作的理想选择 |
光束电压 | 4,000 伏 |
束流 | 0–750 mA 连续可变 |
最大功率 | 3,000 瓦 |
冷却水 | 1.5 加仑/分钟 |
最大烘烤温度 | 120°C (150°F) |
坩埚体积 | 2.24 cc x 4、6 或 8 个坩埚 |
每个 e-Gun™ 都提供三种标准安装配置:
e-Gun™ 安装在 PyraFlat 或 ConFlat 金属密封型法兰上,使用标准 OFE 铜垫圈
e-Gun™ 带有 1 英寸直径的螺栓式安装座,可通过 1 英寸直径的孔安装,并由压缩 O 形圈密封
单独使用 e-Gun™,无需安装法兰
请在下订单时安装配置;成本可能不包括螺栓型或法兰型安装。
通常提供其他安装法兰、配置和几何形状,请致电工厂了解更多信息。
型号 | 坩埚 |
---|---|
RCR0304-SD | 4 |
RCR0304-BD | 4 |
RCR0306-SD | 6 |
RCR0306-BD | 6 |
RCR0308-SD | 8 |
RCR0308-BD | 8 |
注意:SD 表示侧驱,BD 表示底驱
Thermionics 3KW多坩埚旋转电子枪真空组件