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ONYX 3000 玉崎科学半导体设备理学Rigaku光学工具
- 型号
- ONYX 3000
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玉崎科学仪器(深圳)有限公司是京都玉崎株式会社全资设立的中国子公司，专业从事国内贸易/国际贸易业务，主要经营光学设备、电子计测仪器、科学仪器、机械设备、环境试验设备、PC周边用品、作业工具用品、电源、化学用品、FA自动化多类上万种产品的销售。公司凭借优秀的渠道管理能力，可控的交期和匹配的物流体系，科学严谨的产品质量，专业的线下服务能力,为客户提供极有竞争力的价格以及各方位的技术支持
详细信息
玉崎科学半导体设备理学Rigaku光学工具
玉崎科学半导体设备理学Rigaku光学工具
ONYX 3000 特点
Microspot X 射线束和模式识别
器件结构的 2D 和 3D 光学特性
高通量、全面和生产晶圆测量
广泛的材料和应用
高分辨率和精确度覆盖从埃到微米的厚度
轻元素灵敏度的氦气吹扫测量环境
可配置用于小于 300mm 的晶圆
基于SEMIS2和SEMIS8的设计
ONYX 3000 规格
| 产品名称 | 玛瑙 | |
|---|---|---|
| 方法 | X 射线荧光和光学显微镜 | |
| 目的 | 测量从超薄单层薄膜到多层薄膜的所有材料。 BEOL 和 WLP 结构的表征 | |
| 技术 | 处理微点 EDXRF 和 2D、3D 光学显微镜 | |
| 主要部件 | SEMIS2和SEMIS8，基于微点多毛细管X射线光学器件的设计 | |
| 选项 | SECS/GEM通讯软件、COLORS光束模块 | |
| 控制（电脑） | 内部 PC、MS Windows® 操作系统 | |
| 机身尺寸 | 1390（宽）×2040（高）×2960（深）毫米 | |
| 大量的 | 1250公斤（身体） | |
| 电源 | 单相 208 VAC 50/60 Hz，16A | |
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