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ONYX 3200 玉崎科学半导体设备理学Rigaku光学工具
- 型号
- ONYX 3200
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玉崎科学仪器(深圳)有限公司是京都玉崎株式会社全资设立的中国子公司，专业从事国内贸易/国际贸易业务，主要经营光学设备、电子计测仪器、科学仪器、机械设备、环境试验设备、PC周边用品、作业工具用品、电源、化学用品、FA自动化多类上万种产品的销售。公司凭借优秀的渠道管理能力，可控的交期和匹配的物流体系，科学严谨的产品质量，专业的线下服务能力,为客户提供极有竞争力的价格以及各方位的技术支持
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玉崎科学半导体设备理学Rigaku光学工具
玉崎科学半导体设备理学Rigaku光学工具
ONYX 3200 概述
ONYX 3200 是市场上先进的混合测量解决方案。这款第二代双头工具结合了先进的 μXRF 和光学技术，可在在线半导体制造中提供高精度的缺陷检测和最高的吞吐量。
ONYX 系列系统旨在在从 FEOL 到 WLP 的整个制造过程中提供全面的计量方法。这包括适合先进封装和单凸点应用的配置，并允许监控 Ag/Sn 比率。
优化源性能
用于过程监控的单μbump测量
高产量和增加的吞吐量
准确分析金属厚度和成分
对层厚度和成分的最大敏感性
二维显微镜 | 二维显微镜放大倍数 | 3D扫描仪 |
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ONYX 3200 特点
双头 μXRF 配置提供分析灵活性，实现最佳应用性能
单色和多色 μXRF 光学系统
低功率X射线，无损分析
聚焦垂直激励配置
通过排列四个硅漂移探测器（SDD）扩大有效面积并提高分辨率
成分分析和膜厚测量
全自动校准过程提供长期稳定性、一致性和X射线管老化校正
实现亚微米精度的先进运动平台
内联 HVM 测量的理想选择
ONYX 3200 规格
| 测量类型 | 双头微点 EDXRF 和光学检测 (2D-3D) | |
|---|---|---|
| 晶圆尺寸 | 最大300mm | |
| 晶圆类型 | 毯子和图案晶圆 | |
| 导航 | 精密平台辅以图像识别算法 ，可快速亚微米导航至单个特征中心 | |
| 微型 XRF 光束方向 | 正入射微点 (μXRF) | |
| 光学系统 | “多色”（X 射线光学）和颜色“单色”（X 射线光学） | |
| 微型 XRF 束斑尺寸 | 可调范围为 10 至 50 µm | |
| 探测器类型 | 硅漂移探测器 (SDD)：3 种配置 1. 常规 > Al 2. 轻元素：C、N、O、F、S 3. 重元素：> Ge（针对 Ag、Sn 进行了优化） | |
| DPP｜数字脉冲处理器 | 超过 100 万光子/秒的高效率 | |
