- 面议
起订量：
XHEMIS EX-2000 玉崎科学半导体设备理学Rigaku射线胶片厚度
- 型号
- XHEMIS EX-2000
该企业相似产品
玉崎科学仪器(深圳)有限公司是京都玉崎株式会社全资设立的中国子公司，专业从事国内贸易/国际贸易业务，主要经营光学设备、电子计测仪器、科学仪器、机械设备、环境试验设备、PC周边用品、作业工具用品、电源、化学用品、FA自动化多类上万种产品的销售。公司凭借优秀的渠道管理能力，可控的交期和匹配的物流体系，科学严谨的产品质量，专业的线下服务能力,为客户提供极有竞争力的价格以及各方位的技术支持
详细信息
玉崎科学半导体设备理学Rigaku射线胶片厚度
玉崎科学半导体设备理学Rigaku射线胶片厚度
采用新型 XRR 光学系统和新开发的信号处理技术实现高吞吐量和高动态范围
通过采用新开发的配备高速探测器的光学系统，我们实现了高通量XRR测量（15-25WPH）。此外，通过应用特殊的信号处理，可以获得低噪声和高动态范围的清晰频谱。
XHEMIS EX-2000 概述
・新的角度调整方法缩短了对准时间
通过利用射线反射调整角度，我们实现了快速、准确的样品倾斜校正。
・晶圆面内分布评价
对面内膜厚分布进行射线分析时，晶圆高度的调整非常重要。配备高速Z轴对准功能，支持多种薄膜类型，可实现整个晶圆的高精度映射测量。
·应用
FEOL：CoSix、NiSix、SiGe、High-κ 薄膜、Al...
BEOL：势垒金属、Ta/TaN、Ti/TiN、Cu 籽晶、Cu 电镀、W...
各种工艺中使用的各种薄膜类型，对应于薄膜厚度。
・全自动设备日常管理功能AutoCal
为了在XRR和XRF测量中获得准确稳定的分析值，需要定期检查和管理光学系统、X射线源和探测器。该设备配备了“AutoCal”功能，可以全自动执行这些日常管理任务。减轻了操作人员的工作量。
・人性化的操作画面
它具有基于其他型号中也使用的经过验证的软件的多种功能，并配备了不需要复杂分析的新型 XRR 薄膜厚度和密度分析软件，使得可以通过简单的操作执行从测量到分析的所有操作.
・支持C to C自动运输
支持200mm至100mm晶圆的自动开盒传送。 （可选）
- 兼容在线通信功能，
可与上位机进行SECS通信。兼容各种CIM/FA。 （选项）
