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WAFER/DISK ANALYZER 3650 玉崎科学半导体设备理学Rigaku射线胶片厚度
- 型号
- WAFER/DISK ANALYZER 3650
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玉崎科学仪器(深圳)有限公司是京都玉崎株式会社全资设立的中国子公司，专业从事国内贸易/国际贸易业务，主要经营光学设备、电子计测仪器、科学仪器、机械设备、环境试验设备、PC周边用品、作业工具用品、电源、化学用品、FA自动化多类上万种产品的销售。公司凭借优秀的渠道管理能力，可控的交期和匹配的物流体系，科学严谨的产品质量，专业的线下服务能力,为客户提供极有竞争力的价格以及各方位的技术支持
详细信息
玉崎科学半导体设备理学Rigaku射线胶片厚度
玉崎科学半导体设备理学Rigaku射线胶片厚度
这是一款波长色散射线荧光光谱仪（WD-XRF），可同时无损、非接触地分析尺寸最大200毫米晶圆上各种薄膜的厚度和成分。 XYθZ驱动方式的样品台能够准确分析各种金属薄膜，同时避免衍射线的影响。采用4kW高功率射线管，可以高精度分析超轻元素，例如BPSG膜的微量元素测量和硼分析。还支持 C 到 C 传送机器人（可选）。配备Auto Cal（全自动日常检查/强度校正功能）。
晶圆/磁盘分析仪 3650 概述
兼容微量元素浓度和成分分析
兼容从轻元素到重元素的多种元素： 4 Be 到92 U
高灵敏度硼检测仪AD-Boron
我们不断开发新的光学系统，例如改进硼分析能力，以提高分析精度和稳定性。 此外，为了保证稳定性，标准配置了恒温机构和真空度稳定机构。
XY-θ驱动台
XY-θ 驱动的样品台和测量方向设置程序可实现整个晶圆表面上的精确薄膜厚度和成分分布测量。 铁电薄膜也不受衍射线的影响。
应用
半导体器件 BPSG, SiO 2 , Si 3 N4, ... 掺杂多晶硅(B,P,N,As), Wsix, ... Al-Cu, TiW, TiN, TaN, ... PZT, BST, SBT, ... MRAM，...
金属膜W，Mo，Ti，Co，Ni，Al，Cu，Ir，Pt，Ru，...
磁盘CoCrTa，CoCrPt，...DLC，...NiP，。 ..
磁光盘Tb-FeCo、・
磁头GMR、TMR、・・
丰富的固定测角仪阵容
我们根据膜厚度和膜结构提供最佳的固定测角仪。我们还有一个专用的光学系统，可以分析硅晶圆上的 Wsix 薄膜。
全自动设备日常管理功能AutoCal
为了获得准确的分析值，必须正确校准仪器。为此，必须定期测量检查晶圆和PHA调整晶圆作为管理晶圆，以保持设备处于良好状态。这种日常校准工作是自动化的，减少了操作员的工作量。 这就是“AutoCal 功能”。
兼容C to C自动传输
除了开放式盒式磁带外，它还兼容 SMIF POD。兼容200mm以下的晶圆。 另外，可与上位机进行SECS通信，并兼容各种CIM/FA。
紧凑节能设计
主机设计紧凑，占地面积小于1平方米。采用无油变压器，辅助设备紧凑，节能设计。
