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XTRAIA XD-3200 玉崎科学半导体设备理学Rigaku射线胶片厚度
- 型号
- XTRAIA XD-3200
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玉崎科学仪器(深圳)有限公司是京都玉崎株式会社全资设立的中国子公司，专业从事国内贸易/国际贸易业务，主要经营光学设备、电子计测仪器、科学仪器、机械设备、环境试验设备、PC周边用品、作业工具用品、电源、化学用品、FA自动化多类上万种产品的销售。公司凭借优秀的渠道管理能力，可控的交期和匹配的物流体系，科学严谨的产品质量，专业的线下服务能力,为客户提供极有竞争力的价格以及各方位的技术支持
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玉崎科学半导体设备理学Rigaku射线胶片厚度
玉崎科学半导体设备理学Rigaku射线胶片厚度
毯式晶圆和图案晶圆的高分辨率 XRD 外延膜表征
XTRAIA XD-3200 是一款多功能 射线计量工具，可在大批量生产中以高通量对毯式和图案化 300 mm 和 200 mm 晶圆上的单层和多层薄膜进行无损分析。
测量结果包括通过 射线反射率 (XRR) 测量的膜厚度、密度和粗糙度，以及通过高分辨率 XRD (HRXRD) 测量的外延膜厚度、成分、应变、晶格弛豫和结晶度。
