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探针式轮廓仪/台阶仪
中级会员第1年
代理商公司主要销售实验室仪器仪表、实验室仪器设备、散热材料、增材制造设备、电气设备、电子产品、通讯器材、机械配件、通讯器材、电脑软硬件、机械配件、非标自动化设备、五金工具、实验耗材和试剂(不含危险化学品)、激光仪器及辅助设备;
电气设备、信息系统设计、集成;工程管理服务;单晶硅、碳化硅、立方氮化硼、石墨烯、石墨炔、碳纳米管技术开发、技术转让和检验检测服务;
计算机软硬件及辅助设备、信息系统软件、非标自动化设备的租赁和维修;
销售医疗器械、文化办公用品、五金交电、机械设备、监控设备、建筑材料、装饰材料、办公室用品;第二类医疗器械经营、第三类医疗器械经营;依托进口核心产品做研发:
团队是由深圳大学从事材料,光学,生物团队组成,目前核心创始人3位,分别负责材料,生物和光电领域,分别提供相应配套设施以及技术解决方案等;业务目前主要覆盖东莞,深圳,惠州,广州等整个广东地区,可快速抵达广东所在区域提供技术支持和服务。
目前典型服务客户有:清华大学深圳国际研究生院,哈尔滨工业大学(深圳),南方科技大学,深圳大学,深圳技术大学,北京大学深圳研究生院,松山湖材料实验室,大湾区大学(筹),东莞理工学院,中山大学,暨南大学,华南理工大学,广东工业大学等
v 测量功能:二维表面轮廓测量 /可选三维测量
v 样品视景:可选放大倍率,1 to 4mm FOV
v 探针压力:使用LIS 3 传感器 1至15mg
v 低作用力:使用N-Lite+低作用力传感器: 0.03至15mg
v 探针曲率半径可选范围: 50nm至25 um
v 高径比(HAR)针尖: 10um x 2um和200um x 20um 可按客户要求定制针尖
v 样品X/Y载物台:
手动X-Y平移:100mm (4英寸)
机动X-Y平移:150mm (6 英寸)
v 样品旋转台:手动,360° 旋转 机动,360°旋转
v 扫描长度范围:55mm(2英寸)
v 每次扫描数据点:最多可达120.000数据点
v 样品厚度:50mm(2英寸)
v 晶圆尺寸:200mm(8英寸)
v 台阶高度重现性:<4A,1sigma在1um台阶上
v 垂直范围:1mm(0.039英寸)
v 垂直分辨率:1A (6.55um垂直范围下)