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分子束外延薄膜沉积系统MBE

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研启科学仪器(东莞)有限公司

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公司主要销售实验室仪器仪表、实验室仪器设备、散热材料、增材制造设备、电气设备、电子产品、通讯器材、机械配件、通讯器材、电脑软硬件、机械配件、非标自动化设备、五金工具、实验耗材和试剂(不含危险化学品)、激光仪器及辅助设备;

电气设备、信息系统设计、集成;工程管理服务;单晶硅、碳化硅、立方氮化硼、石墨烯、石墨炔、碳纳米管技术开发、技术转让和检验检测服务;

计算机软硬件及辅助设备、信息系统软件、非标自动化设备的租赁和维修;

销售医疗器械、文化办公用品、五金交电、机械设备、监控设备、建筑材料、装饰材料、办公室用品;第二类医疗器械经营、第三类医疗器械经营;依托进口核心产品做研发:

团队是由深圳大学从事材料,光学,生物团队组成,目前核心创始人3位,分别负责材料,生物和光电领域,分别提供相应配套设施以及技术解决方案等;业务目前主要覆盖东莞,深圳,惠州,广州等整个广东地区,可快速抵达广东所在区域提供技术支持和服务。

目前典型服务客户有:清华大学深圳国际研究生院,哈尔滨工业大学(深圳),南方科技大学,深圳大学,深圳技术大学,北京大学深圳研究生院,松山湖材料实验室,大湾区大学(筹),东莞理工学院,中山大学,暨南大学,华南理工大学,广东工业大学等

详细信息

v 分子束外延,是在超高真空系统中把所需要的结晶材料放入到喷射炉中,将喷射炉加热。使结晶材料形成分子束,从炉中喷出后,沉积在温度保持在几的单晶基片上。如果设置几个喷射炉,就可以制取多元半导体混晶,又可以同时进行掺杂。可以精确地控制结晶生长,进行沉积系统中结晶生长过程的研究

v 12个源炉:镓、铟、铝、砷、锑、磷、铋、硅、镁、掺杂等

v 衬底:4inch

v 温度:1000°C 温度均匀性:≤±3°C4inch

v 超高真空下全自动样品转移

v 用于过程控制和分析的所有现代现场监控功能

v 一个集群上最多7个超高真空功能单元:装载、储存、翻转、处理、排气、生长,外部腔室

v 可连接其他分析设备或其他:ALDPLDPVD、金属化、STM......

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