172nm准分子灯设备将化学上结合产生不了分子的疝气等稀有气体封在石英里，施加电压进行放电，原子激化与其他原子结合产生分子。

E + Xe → e + Xe*Xe* + Xe + Xe → Xe2* + Xe被激发出来的的激元分子(Xe2*)回到原本的状态(基底)时发出172nm単一波长的紫外光。172nm光子能量比大多数的物质分子结合能量要大。出现光子能量比分子结合力大的时候，仅通过光子的作用就能切断分子。

172nm准分子灯设备特点为：瞬间点灯、灭灯、不使用水银无需点灯稳定期、就可以瞬间点灯和灭灯是不使用水银的环保型UV灯●低温处理不会产生其它波长的光，工件温度几乎不会升高●高光能量172nm･166kcal/mol.･7.2eV的高光能可以短时间内进行表面改质●无损伤通过光子的作用分解分子结合，不会产生像电晕处理和等离子处理的颗粒和粉尘。基本不会对对基材放电，不会产生物理上的损伤。

有效长 150～1700mm以上 1根～数根根据必要的有效长度、数量，可以1cm为单位长度制作●照度控制功能灯的各灯的照度分开控制功能。●照射面一侧没有电极，无电极构造灯座兼有外部电极，不需要通常灯照射面上必要的网眼和格子状电极。不会有光的遮挡、损失、衰减同时也不会出现随着使用时间而产生照度低下的问题●不需要氮气即使没有氮气也可以处理。使用氮气时时通过灯座缝隙喷射氮气，可以大幅削减使用量●RF放电方式 没有闪烁的超高照度灯管70mW/c㎡, 120mW/c㎡, 170mW/c㎡以上也有超过200mW/c㎡的超高照度灯