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无金属污染循环式臭氧水生成装置
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该企业相似产品
172nm准分子，臭氧发生器，照度计，Robot，EB照射器
南京博创半导体设备有限公司成立于2019年主体经营：1.半导体制造相关设备：键合/解键合设备/晶圆清洗设备/涂胶设备/剥离设备2.半导体用高清洁传送设备：EFEM/Robot/Aligner/Porter3.纳米印压设备：8寸/12寸全自动量产设备和R&D研发设备4.FDP/PLP设备：SlitCoater+VCD+OVEN+UV解键合设备5.UV系列产品：UV Laser/Excimer UV灯/UVLED灯/牛尾-滨松-ORC照度计 所在地 :江苏省南京市栖霞区（新港开发区）恒泰路6号
详细信息
无金属污染循环式臭氧水生成装置采用循環方式存水・弃水非常少濃度上升快(1分鐘内生成臭氧水)根据清洗工藝可生成穏定濃度流量的臭氧水 無金屬汚染臭氧水采用自主研発技術，生成適用於半導体清洗的臭氧水小型化・重量輕・無需冷卻水外形尺寸611W×590D×1317H, 重量約87kg搭載散熱器
无金属污染循环式臭氧水生成装置臭氧発生方式無声放電法冷却方式 空冷溶解法 射流方式臭氧水濃度測定 内蔵 紫外線式臭氧水濃度計臭氧水濃度 MAX 60ppm MAX 80ppm臭氧水水流量 MAX 7L/min MAX 50L/min外寸 611W×590D×1317H -重量 87Kg -消費電力 1kW -原料氧气条件 圧力0.3MPa 純度99.5％（添加CO2或者N2)原料水条件 超純水・純水・市水 0.25MPa原料水温度 25℃以下互鎖关系 漏水, 内部圧力異常, 臭氧泄漏,臭氧発生器異常
