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干式超声波清洗机
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经销商南京博创半导体设备有限公司成立于2019年主体经营:1.半导体制造相关设备:键合/解键合设备/晶圆清洗设备/涂胶设备/剥离设备2.半导体用高清洁传送设备:EFEM/Robot/Aligner/Porter3.纳米印压设备:8寸/12寸全自动量产设备和R&D研发设备4.FDP/PLP设备:SlitCoater+VCD+OVEN+UV解键合设备5.UV系列产品:UV Laser/Excimer UV灯/UVLED灯/牛尾-滨松-ORC照度计 所在地 :江苏省南京市栖霞区(新港开发区)恒泰路6号
USC全称叫干式超声波清洗机
干式超声波清洗机由风机柜、清洗头和连接软管组成。
通过风机柜产生的洁净气体经过软管后从清洗头高速喷出,气体经过清洗头内部的超声波发生器会产生高频声波。高速气体和高频声波共同作用下,可对工件表面的微小尘埃进行有效清洁。
清洗头出气口两侧设计有真空腔,可将清洗头喷出的气体回收,喷出气体清洁工件后所携带的微尘也会回收到风机柜内。
1.干式气体清洁,无需耗材
2.无接触清洁,不损伤工件
3.高效过滤气体,不污染工件
4.清洗气体回收,不影响环境
5.超声波发生器性能衰减
超声波(ultrasonic )是比人类能够听到的震动数,即可听振动数(20 ~ 20,000 Hz)更高的振动数。是指在20kHz以上向哪个方向振荡传送达音波。 超声波可以把能量集中到锐角,向一定方向发射,介质不同有如光,具有反射,折射的性质。 超声波可根据传播方式,用于深度测量,医学诊断,清洁及加工等。 频率高、强度大,明显比一般声波波长短,有方向的对微小的部分传达能量。CTS USC通常发生40kHz~70kHz的超声波。
清洗机能够透过空气层,将声波的能量传达到基板的表面,可以去除十分微小的异物 。
1. CTS USC的特点是 Pressure line中对空气进行反复压缩和膨胀处理,通过空气间的互相冲突自然形成的Pressure air超声波将 Panel 上残留的Particle 与面板进行分离 进行清洗的方式。2. 一般,Air knife 对于清洗微细粒子具有显著作用,但是清洗能力只能达到50%左右,相比较,采用 Ultrasonic Air方式,清洗力能达到98%以上。