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DE200 PLD Deposition System 脉冲激光真空镀膜系统PLD镀膜设备
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Sputter 磁控溅射薄膜沉积系统
E-Beam 电子束蒸发薄膜沉积系统
Thermal 热阻蒸发薄膜沉积系统
PLD 脉冲激光镀膜系统
Sputter Sources 磁控溅射阴极
DC/RF Power Supply 直流/射频电源
E-Beam Sources 电子束蒸发源
Thermal EVP Sources 热蒸发源
Deposition Materials 溅射靶材和蒸发镀膜材料
Sample Manipulator 样品台
Feedthroughs 电子穿导器件
Vacuum Valves 真空阀门
Vacuum Components 真空配件
DE200 PLD Deposition System
DE200脉冲激光薄膜沉积真空镀膜系统PLD
l PLD UHV chamber
l 超高真空脉冲激光沉积腔室
l STM UHV chamber
l 超高真空STM腔室
l UHV Sample manipulator
l 超高真空样品操纵台
l Target stage manipulator
l 多靶转台
l Load Lock chamber
l 预真空进样室
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