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Wafer温度实时检测装置
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巨力科技有限公司专门经销欧美、日本等国家制造的*科学仪器，为客户提供完备的售前咨询和售后服务、技术支持。目前产品涵盖材料科学、微纳米技术、表面测量及表征、半导体、光伏和生命科学等领域。
详细信息
| 技术参数
zui大温度范围：室温~1300摄氏度； 温度重复性：0.2摄氏度； 温度分辨率：0.1摄氏度； 稳定性：+/-0.2摄氏度； | ||
| 主要特点
＊实时、非接触、非入侵、直接的Wafer温度精确检测； ＊Wafer表面2D温度Mapping； ＊zui真实的Wafer表面或薄膜温度检测； ＊沉积速率分析； ＊测量激光波长范围可选（例如：可见光波段、近红外波段等） ＊避免了发射率变化对测量的影响； ＊无需沉积设备Viewport特殊涂层； | ||
*的半导体温度测量装置，对Wafer（及薄膜）表面温度实时、非接触、非入侵、zui直接的检测；采用温度和半导体材料对光的吸收边沿（频带能量）相关性原理，即材料的本征特性，使得测量结果更为准确；可装载到MBE、MOCVD、溅射、蒸发系统等和热处理、退火设备上，进行实时温度检测。 | ||
