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光谱反射薄膜测厚仪
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经销商北京燕京电子有限公司成立于1988年,是北京电子控股有限责任公司直属企业,是一家集成供应商和专业设备及仪器的服务商。公司目前经营规模超亿元,主 营业务为向国内外科研院所、大型设备制造业和金融业提供成套集成供应及专业设备仪器的维护、运行等专业化的系统解决方案和服务。
在制造行业,燕京公司在世界各地拥有众多的*代理商和合作伙伴,经过*合作交流的实践建立了广泛的市场营销网络。同时与国内各相关领域的重要 厂商也建立有良好的合作关系,为大型设备制造业的客户提供成套原材料、零部件及电子元器件。
在仪器服务方面,燕京公司是众多仪器设备厂商在中国的重要合作伙伴。公司致力于从事工业电子、教学科研、通信技术以及电力石化等领域的产品 销售和系统集成,能够为用户提供各种良好的针对行业的、完整的测试应用解决方案。
广泛应用于:
半导体制造 (PR, Oxide, Nitride..)
液晶显示器(ITO, PR, Cell gap…..)
医学、生物薄膜或材料
印刷油墨,矿物学,颜料,碳粉
光学薄膜 TiO2, SiO2, Ta2O5…..
半导体化合物
功能薄膜在MEMS /微光机电系统 ?
非晶,纳米及结晶硅
太阳能光伏材料涂层
技术参数:
产品规格:
波长范围: 250到1100 nm
光斑尺寸: 500微米至5毫米
样品尺寸: 200x200mm
基板尺寸:zui高达50毫米的厚度
测量厚度范围: 2纳米至50微米
测量时间: 2毫秒zui低
精度:优于0.5 %
重复性 :<1 Ǻ
系统配置:
•型号:SR100R
•探测器:2048像素CCD
•光源:大功率氘和卤素光源
•光传递方式:光纤
•载物台:黑色铝合金,可方便调节样品的高度,200mmx200mm大小
•通讯:与计算机的USB
•测量类型:薄膜厚度,反射光谱,折射率
•软件:TFProbe 2.2
•电源:110 - 240伏交流电/ 50 - 60赫兹
•保修:一年主机及配件
主要特点:
易于安装和容易操作的软件视窗
*的光学设计,*的系统性能
阵列探测器系统,以确保快速测量
测量薄膜厚度和折射率,zui高达5层
可以收集反射,透射和吸收光谱,以毫秒为单位
能够用于实时或在线厚度,折射率监测
系统具有全面的光学常数数据库
*的TFProbe软件允许用户使用NK表,有效快速的分析测试样品。
可升级到中型( Microspectrophotometer )系统,开关磁阻电机绘图系统,多通道测试系统,
直接测量的图案或功能结构
适用于许多不同类型的衬底上不同厚度测量
各种配件供特殊配置,如运行测量的曲面
二维和三维图形输出和良好的用户数据处理界面