产品

AT-400 原子层沉积系统

UHV ALD 超高真空集成原子层沉积系统

Thermal-ALD E300S 大尺寸原子层沉积系统

PA 粉体包裹原子层沉积系统

Glove Box Integrated 手套箱集成原子层沉积系统

PEALD E200SP 等离子增强原子层沉积系统

Thermal-ALD E200S 热法原子层沉积系统

原子层沉积

NLD-4000（ICPM）PEALD系统

NLD-3500（A）全自动原子层沉积设备

NLD-4000（A）全自动原子层沉积系统

NLD-3000 原子层沉积系统

Fiji G2 Plasma ALD 维易科 全自动原子层沉积系统（ALD）

Savannah G2 ALD 全自动原子层沉积系统（ALD）

Phoenix G2 ALD System 全自动原子层沉积系统（ALD）

Firebird 全自动原子层沉积系统（ALD）