ThetaMetrisis FR-Scanner 是一款紧凑的台式测量工具，全自动测绘涂层的厚度，基底适用于晶圆、掩膜版及其它材料。

FR-Scanner 可以快速准确地测量薄膜特性，比如厚度、折射系数、均匀性、色度等，真空吸盘可应用于任何直径或其它形状的样品。