FR-Scanner-AIO-Mic-XY200是一款集成了显微镜的自动薄膜厚度测绘系统，用于全自动图案化晶圆上的单层和多层涂层厚度测量。电动X-Y载物台提供适用尺寸 200mm x 200mm的行程，可在 200-1700nm 光谱范围内提供各种光学配置。