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FR-Ultra 是一款专用于精确测量半导体以及介电材料超厚层的专用设备。 藉由先进的光学器件，FR-Ultra 可以测量光滑或粗糙的薄膜以及较厚的基材。
典型应用包括：厚玻璃的厚度测量（厚度可达 2 毫米，透明或雾面）晶圆厚度测量（例如直径达 12 英寸的单面或双面抛光晶圆）。
FR-Ultra可以很容易地与笛卡尔坐标系和极坐标结合，用于大面积的厚度测量。
硅片厚度分布图（12英寸）
特点：
o 单击分析（无需输入初始预估值）
o 动态测量
o 内建700种以上不同材料
o 可安装多个离线分析软件
o 免费软件更新
