产品简介：

FR-Scanner-AllInOne-Mic-XY300模块化厚度测绘系统集成了光学、电子和机械模块，可兼用于对无图形和图形薄膜（例如微图形表面、粗糙表面）进行精确测量 。

将晶圆放置在真空吸盘上（晶圆尺寸直径≤300mm）并配备反射率标准件。 由功能强大的光学模块执行测量，光斑尺寸小至几微米。电动平台提供XY方向 300 毫米的行程，在速度、精度和可重复性方面具有优秀的性能

FR-Scanner-AIO-Mic-XY300提供了:

o 实时反射率光谱测量

o 薄膜厚度、光学特性、非均匀性测量、厚度测绘

o 使用集成的、USB 连接的高质量彩色相机进行成像

o 测量参数广泛统计数据

o 半自动图案对准功能用于测量周期性图形区域

o 不一样的软件功能，例如：Click2Move (萤幕点击定位量测点)、比例尺

附件：

• FR-AutoFocus：100mm 长线性轴，用于自动对焦，具有两种操作模式：图像对焦（对比度）/ 反射强度

• Rotation Module：旋转模块电动平台提供高的分辨率和精度

• FR-FilterWheel：电动滤光轮模块带有可容纳 12 个滤光片的插槽由计算机自动控制: 滤光片尺寸：直径0.5英寸，最多6个过滤器（1英寸）

• FR-AutoTurret：自动转塔由计算机控制可容纳 4 个物镜：镜头切换速度约为 1.0-3.0 秒

• Lenses：长工作距离 VIS/NIR 镜头: 5X, 10X, 20X, 40X, 50X

• 反射式 UV/NIR 镜头: 10X, 15X, 25X, 40X

• Pump：低噪音真空泵，2.5L/min，真空度-60kPa.

• Chucks：6 英吋光掩模卡盘6 英吋带参考片区域 ，多晶圆卡盘（100-300 毫米和不规则形状片），包括参考区域和暗区，用于自动基准

规格：

二维厚度图：

3D厚度图：

测量原理：