微米/纳米热传导测量系统采用SanjSCOPE™ 纳秒瞬态热成像仪和锁相锁定热反射 (TR) 系统，实现器件纳米或微米尺度传热成像。
微米/纳米热传导测量系统在可见光波段进行了优化，具有衍射限制的空间分辨率。光谱范围达到365nm~1050nm，瞬态响应为 50ns。这种宽光谱范围支持基于锁相锁定热反射 (TR) 成像，用于对各种先进设备进行热分析。
微米/纳米热传导测量系统应用背景
NUV 覆盖范围对于 GaN 和其他宽带隙器件的热分析尤为重要。凭借亚微米空间分辨率,50ns瞬态分辨率以及对 TransientCAL™ 和 HyperSpectral 校准的支持，微米/纳米热传导测量系统系统将满足先进的电子和光电设备的热成像要求。可选的 IR 传感器可用于进行宏观分析，以检测非常低的功率水平，并能够在微观尺度上归零，以便对检测到的热点或其他热异常进行更详细的分析。

微米/纳米热传导测量系统规格参数
产品类型: 脉冲激光热成像分析仪器
瞬态分辨率: 脉宽800 ps (FWHM)
成像传感器: EMCCD
光谱范围: 480nm~1060nm
有效像素: 1024 x 1024
像素尺寸: 13微米
空间分辨率
380 nm (@100x, 0.7 NA, 532 nm照明)
760 nm (@100x, 0.7 NA, 1060 nm照明)
NETD: 1000 mK
照明光源: 脉冲二极管激光器 532 nm, 1060 nm
可选物镜: 5x, 20x, 100x