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这款266nm连续DUV激光器是OXIDE是深紫外DUV波长266nm单频激光器。OXIDE高可靠性波长转换模块和高速、精密音圈电机（VCM）激光器实现了连续波的稳定运动。根据输出功率，您可以从三种类型中选择合适的型号–Frequad HP、Frequad-M和Frequad-C。
266nm连续DUV激光器优点
超高纯BBO晶体确保高质量倍频
在1W输出功率下，单点寿命超过3000小时，在2W输出功率下，单点寿命超过1000小时。此外，晶体的微小劣化确保了在高光束质量下长时间稳定运动。
精密伺服锁技术
高速、高精度音圈电机（VCM）伺服驱动器提供稳定的连续激光运动。
低功耗
高效的波长转换激光系统实现了极低的功耗——小于340W。
266nm连续DUV激光器典型应用
半导体检测
拉曼光谱激发
光致发光激发
磁盘母盘
光纤布拉格光栅
266nm连续DUV激光器规格参数
| 型号 | Frequad-HP FQ50-20/-10 | Frequad-M FQM-10/-07/-05/-03 | Frequad-C FQC-50/-20 |
| 波长 | 266 nm | 266 nm | 266 nm |
| 输出功率 | 2.0/1.0 W | 1.0/0.7/0.5/0.3 W | 50/20 mW |
| 线宽 | < 0.005 pm | < 0.005 pm | < 0.005 pm |
| 功率稳定性 | < +/-1 %/8 hrs | < +/-1 %/8 hrs | < +/-3 %/8 hrs |
| 消光比 | > 100:1 | > 100:1 | > 100:1 |
| 光束质量 | TEM00, M2 < 1.2 | TEM00, M2 < 1.2 | TEM00, M2 < 1.3 |
| 偏振态 | Vertical, Linear | Vertical, Linear | Vertical, Linear |
| 光斑直径 | 3 mm ±0.3 mm | 3 mm ±0.3 mm | 0.8 mm ±0.2 mm |
| 发散角 (1/e2) | < 0.2 mrad | < 0.2 mrad | < 0.4 mrad |
| 供电要求 | AC 100-240V 50/60Hz | AC 100-240V 50/60Hz | AC 100-240V 50/60Hz |
| 功耗 | < 300 W | < 340 W | < 70 W |
| 制冷 | Air | Water | Air |
| 激光头尺寸 | 240 x 840 x 160 mm | 350 x 590 x 124 mm | 153 x 202 x 79 mm |
