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213nm/205nm深紫外激光器是稳定型连续波DUV深紫外激光器,基于已有20多年历史的深紫外DUV波长205nm-400nm连续波CW单频波长转换激光器技术。通过266nm激光器开发的非线性晶体和伺服锁定技术能够产生稳定且长寿命的连续激光发射。根据您的需要，孚光精仪公司可以提出各种波长的连续激光器。
213nm/205nm深紫外激光器特点
高可靠性非线性光学晶体
根据激光波长的不同，我们可以提出最合适的非线性波长转换晶体。例如BBO晶体可以在266nm和1W输出功率下提供超过3000小时的单点寿命。此外，晶体的微小劣化确保了长时间的稳定运动。
精密伺服锁技术
高速、高精度音圈电机（VCM）伺服驱动器提供稳定的连续激光运动。
213nm/205nm深紫外激光器规格参数
| 型号 | Frequad-* | Frequad-W |
| 波长 | 400…205 nm | 213 nm |
| 输出功率 | ** W | 10 mW |
| 线宽 | < 0.005 pm | < 0.005 pm |
| 消光比 | > 100:1 | > 100:1 |
| 光束质量 | TEM00 | TEM00 |
| 偏振 | 竖直, 线偏振 | Vertical, Linear |
| 供电要求 | AC 100-240V, 50/60Hz | AC 100-240V, 50/60Hz |
| 功耗 | < 340 W | < 300 W |
| 制冷 | ** | 空气制冷 |
| 尺寸 | ** | 240 x 840 x 160 mm |
※表示可根据客户要求订制213nm/205nm深紫外激光器.
213nm/205nm深紫外激光器应用
半导体检测
拉曼光谱
光致发光
磁盘母盘
光纤布拉格光栅
